测量系统分析在集成电路测试中的应用
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-14页 |
| ·课题研究的内容、背景和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究及应用现状 | 第11-13页 |
| ·论文主要内容及框架 | 第13-14页 |
| 第二章 测量系统分析的理论和方法 | 第14-37页 |
| ·测量系统分析的概念 | 第14-15页 |
| ·测量系统的特性 | 第15-19页 |
| ·分辨力 | 第16页 |
| ·偏倚 | 第16-17页 |
| ·稳定性 | 第17页 |
| ·线性 | 第17-18页 |
| ·重复性 | 第18页 |
| ·再现性 | 第18-19页 |
| ·测量系统分析的时机 | 第19页 |
| ·测量系统分析的步骤 | 第19-24页 |
| ·测量系统的变差源 | 第20页 |
| ·PDSA方法的运用 | 第20-22页 |
| ·测量系统分析的流程 | 第22-24页 |
| ·测量系统的分析方法 | 第24-25页 |
| ·计量型测试系统的分析方法 | 第25-30页 |
| ·评估稳定性 | 第25页 |
| ·评估偏倚 | 第25-27页 |
| ·评估线性 | 第27页 |
| ·评估重复性和再现性 | 第27-30页 |
| ·计数型测量系统的分析方法 | 第30-37页 |
| ·假设实验分析-交叉表法 | 第30-36页 |
| ·量具性能曲线分析法 | 第36-37页 |
| 第三章 集成电路测试简介 | 第37-46页 |
| ·测试系统（Tester） | 第37-40页 |
| ·自动分拣机（Handler） | 第40-41页 |
| ·测试板(Test Board) | 第41-44页 |
| ·测试程序（Test Program） | 第44页 |
| ·测试过程应用 MSA 的必要性 | 第44-46页 |
| 第四章 集成电路测试中的MSA | 第46-78页 |
| ·电性测试中的测量系统分类 | 第46-51页 |
| ·直流参数测试 | 第46-47页 |
| ·交流参数测试 | 第47-48页 |
| ·功能测试 | 第48-49页 |
| ·混合信号测试 | 第49-50页 |
| ·射频和无线测试 | 第50-51页 |
| ·影响电性测试的因素分析 | 第51-53页 |
| ·测量系统研究的方案 | 第53-54页 |
| ·模拟参数方法 | 第54-56页 |
| ·测量系统分析的准备 | 第56页 |
| ·MSA仿真程序的开发 | 第56-59页 |
| ·计量型测量系统分析 | 第59-71页 |
| ·评估稳定性 | 第60-63页 |
| ·评估偏倚和线性 | 第63-65页 |
| ·评估重复性和再现性 | 第65-71页 |
| ·计数型测量系统分析 | 第71-74页 |
| ·MSA与质量管理体系 | 第74-78页 |
| 第五章 总结 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第81-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
