基于Witness仿真的TiW蚀刻机台产能改善研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| ·研究背景及意义 | 第9-12页 |
| ·研究现状 | 第12-15页 |
| ·生产能力国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·Witness 建模与分析 | 第13-15页 |
| ·本文研究内容和结构安排 | 第15-17页 |
| 第二章 TiW 蚀刻机台的工作研究 | 第17-28页 |
| ·工作研究介绍 | 第17-19页 |
| ·工作研究的范畴 | 第17-18页 |
| ·工作研究的主要技术 | 第18-19页 |
| ·TiW 蚀刻车间和其工作流程 | 第19-21页 |
| ·TiW 蚀刻机台的工作研究方案 | 第21-25页 |
| ·人机作业图 | 第21页 |
| ·分析和优化流程 | 第21-22页 |
| ·标准操作时间的确定 | 第22-25页 |
| ·问题分析 | 第25-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 TiW 蚀刻机台生产能力的仿真建模 | 第28-41页 |
| ·Witness 仿真软件简介 | 第28-30页 |
| ·Witness 仿真软件的主要特点及功能 | 第28-29页 |
| ·Witness 仿真软件提供的基本元素 | 第29-30页 |
| ·TiW 蚀刻机台仿真模型的建立 | 第30-40页 |
| ·仿真建模的目的 | 第30-31页 |
| ·仿真模型的建立 | 第31-39页 |
| ·仿真模型的实现 | 第39-40页 |
| ·仿真结果验证 | 第40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 TiW 蚀刻机台生产能力灵敏度分析及优化 | 第41-50页 |
| ·TiW 机台生产能力分析 | 第41-43页 |
| ·蚀刻槽1 单因素分析 | 第43-48页 |
| ·加工时间的灵敏度分析 | 第43-45页 |
| ·调整时间灵敏度分析 | 第45-46页 |
| ·制程参数设置时间灵敏度分析 | 第46-47页 |
| ·人员响应策略 | 第47-48页 |
| ·优选级 | 第48页 |
| ·多因素分析 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 方案实施与评价 | 第50-55页 |
| ·TiW 机台产能提升方案 | 第50-51页 |
| ·改善前后的产能对比 | 第51页 |
| ·改善前后的成本对比 | 第51页 |
| ·改善前后的产品品质对比 | 第51-54页 |
| ·改善前后Undercut 对比 | 第53页 |
| ·改善前后TiW 残留对比 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 全文总结与展望 | 第55-57页 |
| ·总结 | 第55-56页 |
| ·不足与展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文 | 第60-62页 |
