LSAWs技术表征ULSI互连布线Low-k介质薄膜机械特性的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 第一章 概述 | 第8-10页 |
| 第二章 LSAWs理论色散曲线计算 | 第10-41页 |
| ·非压电弹性媒质中的波动方程 | 第10-13页 |
| ·半无限大介质中声表面波的传播 | 第13-20页 |
| ·各向同性介质中声表面波的传播 | 第13-17页 |
| ·瑞利波（Rayleigh Waves）的特性 | 第17-19页 |
| ·无界各向异性介质中声表面波的传播 | 第19-20页 |
| ·声表面波在分层介质结构中的传播 | 第20-40页 |
| ·Si基衬底上淀积各向同性薄膜的结构 | 第21-36页 |
| ·Si基衬底上淀积横观各向同性薄膜的结构 | 第36-40页 |
| ·小结 | 第40-41页 |
| 第三章 实验信号分析 | 第41-61页 |
| ·LSAWs实验系统概述 | 第41-44页 |
| ·LSAWs实验系统的结构 | 第41-42页 |
| ·LSAWs实验数据的采集 | 第42-44页 |
| ·LSAWs实验信号的性质 | 第44-50页 |
| ·LSAWs实验信号的范畴 | 第44-45页 |
| ·LSAWs信号的干扰与污染 | 第45-47页 |
| ·LSAWs实验信号的采样 | 第47-50页 |
| ·LSAWs信号的频谱分析工具 | 第50-55页 |
| ·信号的时域描述和频域描述 | 第50页 |
| ·DFT分析原理及其固有的缺点 | 第50-51页 |
| ·快速傅里叶变换（FFT） | 第51-55页 |
| ·频谱分析存在的问题 | 第55-60页 |
| ·提高频谱的分辨率 | 第55-56页 |
| ·减弱频谱泄露 | 第56-58页 |
| ·减弱栅栏效应 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第四章 信号滤波 | 第61-73页 |
| ·无失真传输与理想滤波器 | 第61-63页 |
| ·FIR滤波器 | 第63-65页 |
| ·FIR滤波器和IIR滤波器对比 | 第63页 |
| ·FIR滤波器的线性相位条件 | 第63-64页 |
| ·FIR滤波器的特点简述 | 第64-65页 |
| ·数字滤波器的窗函数设计方法 | 第65-70页 |
| ·用窗函数设计滤波器的原理概述 | 第65-66页 |
| ·Kaiser窗性质的研究 | 第66-67页 |
| ·本课题用Kaiser窗设计FIR滤波器 | 第67-69页 |
| ·信号滤波效果及结论 | 第69-70页 |
| ·实验频散曲线的获得 | 第70-72页 |
| ·实验获得的相频谱 | 第70-71页 |
| ·实验信号的频散曲线 | 第71-72页 |
| ·小结 | 第72-73页 |
| 第五章 最小二乘法的曲线拟合 | 第73-77页 |
| ·概述 | 第73页 |
| ·曲线拟合 | 第73-76页 |
| ·最小二乘法的提法（直线拟合） | 第73-74页 |
| ·多项式拟合 | 第74-75页 |
| ·曲线的二次多项式拟合 | 第75-76页 |
| ·小结 | 第76-77页 |
| 第六章 理论、实验频散曲线的匹配 | 第77-83页 |
| ·概述 | 第77页 |
| ·曲线分辨率的提高 | 第77-78页 |
| ·实验、理论色散曲线匹配 | 第78-81页 |
| ·曲线匹配优度的判别 | 第78-79页 |
| ·基于二分法的一次回溯夹逼逼近算法设计 | 第79-80页 |
| ·自动获取测量结果 | 第80-81页 |
| ·小结 | 第81-83页 |
| 第七章 总结 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-88页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第88-89页 |
| 致谢 | 第89页 |
