IC分选设备测压结构关键技术研究
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-25页 |
| 1.1 本文研究的背景和意义 | 第11-13页 |
| 1.1.1 本文研究背景 | 第11-13页 |
| 1.1.2 本文研究意义 | 第13页 |
| 1.2 国内外研究现状和发展趋势 | 第13-22页 |
| 1.2.1 集成电路分选设备发展现状 | 第13-16页 |
| 1.2.2 测压结构技术发展现状 | 第16-20页 |
| 1.2.3 测压结构关键技术提出 | 第20-22页 |
| 1.3 本文研究内容及组织框架 | 第22-24页 |
| 1.3.1 本文研究内容 | 第22-23页 |
| 1.3.2 论文组织框架 | 第23-24页 |
| 1.4 本章小结 | 第24-25页 |
| 第2章 测压手臂结构仿真分析与优化 | 第25-36页 |
| 2.1 引言 | 第25-26页 |
| 2.2 测压手臂结构静力学分析 | 第26-29页 |
| 2.2.1 手臂结构性能仿真分析 | 第26-28页 |
| 2.2.2 不同材料手臂结构性能对比 | 第28-29页 |
| 2.3 测压手臂结构优化方案设计 | 第29-32页 |
| 2.3.1 负载力纵向布局的手臂结构方案 | 第29-31页 |
| 2.3.2 负载力对称布局的手臂结构方案 | 第31-32页 |
| 2.4 手臂结构优化方案分析和对比 | 第32-35页 |
| 2.4.1 负载力纵向布局的手臂结构力学分析 | 第32-33页 |
| 2.4.2 负载力对称布局的手臂结构力学分析 | 第33-34页 |
| 2.4.3 手臂结构优化前后性能对比 | 第34-35页 |
| 2.5 本章小结 | 第35-36页 |
| 第3章 测压结构水平浮动偏移回位分析 | 第36-52页 |
| 3.1 引言 | 第36-37页 |
| 3.2 滚珠浮动结构偏移回位分析 | 第37-42页 |
| 3.2.1 浮动结构布局介绍 | 第37页 |
| 3.2.2 浮动偏移回位特性 | 第37-42页 |
| 3.3 浮动回位偏移量影响参数分析 | 第42-45页 |
| 3.3.1 滚珠偏移量与外力关系 | 第42-43页 |
| 3.3.2 滚珠临界偏移量与锥形槽开口角度关系 | 第43-44页 |
| 3.3.3 锥形槽开口直径与开口角度关系 | 第44-45页 |
| 3.3.4 影响参数最优取值总结 | 第45页 |
| 3.4 浮动结构滚珠回位时间仿真分析 | 第45-50页 |
| 3.4.1 浮动结构动力学模型构建 | 第46-49页 |
| 3.4.2 浮动结构动力学仿真 | 第49-50页 |
| 3.4.3 仿真结果分析 | 第50页 |
| 3.5 本章小结 | 第50-52页 |
| 第4章 测压结构垂直浮动行程优化设计 | 第52-70页 |
| 4.1 引言 | 第52-53页 |
| 4.2 垂直浮动原理和行程特性 | 第53-56页 |
| 4.2.1 膜片气缸结构和工作原理 | 第53-54页 |
| 4.2.2 膜片气缸输出力-行程特性 | 第54-56页 |
| 4.3 膜片气缸稳定输出力-行程优化方案设计 | 第56-65页 |
| 4.3.1 输出力失稳分析和行程优选方案设计 | 第57-60页 |
| 4.3.2 行程优选传感器的层次分析法决策 | 第60-65页 |
| 4.4 膜片气缸稳定输出力-行程优化实验验证 | 第65-69页 |
| 4.4.1 行程优化实验准备 | 第65-66页 |
| 4.4.2 利用传感器反馈的稳定行程确定 | 第66-68页 |
| 4.4.3 控制行程的下压力准确性验证 | 第68-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第5章 测压结构真空响应性能分析 | 第70-84页 |
| 5.1 引言 | 第70-71页 |
| 5.2 真空发生器原理与特性 | 第71-73页 |
| 5.2.1 真空发生器结构及主要参数 | 第71-72页 |
| 5.2.2 真空发生器各参数性能影响 | 第72-73页 |
| 5.3 真空发生器响应时间数学模型 | 第73-78页 |
| 5.3.1 真空控制响应时间构成 | 第73-75页 |
| 5.3.2 真空发生响应时间分析 | 第75-76页 |
| 5.3.3 真空破坏响应时间分析 | 第76-78页 |
| 5.4 真空发生器响应关系实验分析 | 第78-83页 |
| 5.4.1 实验准备与步骤 | 第78-80页 |
| 5.4.2 真空响应时间与真空度关系分析 | 第80-81页 |
| 5.4.3 真空响应时间与气管长度关系分析 | 第81-82页 |
| 5.4.4 真空破坏对真空度影响关系分析 | 第82-83页 |
| 5.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 第6章 总结与展望 | 第84-87页 |
| 6.1 全文总结 | 第84-85页 |
| 6.2 工作展望 | 第85-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
