基于DSL的浸没式光刻机浸没系统状态控制的设计与实现
| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-26页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-13页 |
| 1.1.1 光刻技术原理及发展现状 | 第10-11页 |
| 1.1.2 浸没光刻技术概述 | 第11-13页 |
| 1.2 浸没分系统组成及基本原理 | 第13-22页 |
| 1.2.1 PWS水传输系统 | 第13-15页 |
| 1.2.2 HCWS注液系统 | 第15-16页 |
| 1.2.3 CAS注气系统 | 第16-17页 |
| 1.2.4 HAWE气液回收单元 | 第17-19页 |
| 1.2.5 TCM温控模块 | 第19-20页 |
| 1.2.6 浸没分系统整体方案 | 第20-22页 |
| 1.3 课题研究内容 | 第22-25页 |
| 1.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 第2章 MCM控制系统硬件平台设计 | 第26-33页 |
| 2.1 浸没系统逻辑架构 | 第26-27页 |
| 2.2 MCM控制系统关键硬件选型 | 第27-30页 |
| 2.2.1 可编程控制器分析与选型 | 第27-29页 |
| 2.2.2 工控机分析与选型 | 第29页 |
| 2.2.3 交换机分析与选型 | 第29-30页 |
| 2.3 浸没系统总控端硬件平台 | 第30-32页 |
| 2.3.1 浸没系统总控台 | 第30-31页 |
| 2.3.2 浸没分系统控制架 | 第31-32页 |
| 2.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 基于DSL的MCM控制系统软件分析与设计 | 第33-54页 |
| 3.1 浸没系统控制模块分布 | 第33-34页 |
| 3.2 浸没系统业务逻辑模型建立 | 第34-46页 |
| 3.2.1 浸没系统状态流程分析 | 第34-42页 |
| 3.2.2 浸没系统状态机模型建立 | 第42-44页 |
| 3.2.3 逻辑控制UML时序图分析 | 第44-46页 |
| 3.3 浸没系统通讯机制 | 第46-52页 |
| 3.3.1 通讯组网及方案设计 | 第46-49页 |
| 3.3.2 通讯协议及消息调度 | 第49-50页 |
| 3.3.3 网络心跳检测 | 第50-52页 |
| 3.4 本章小结 | 第52-54页 |
| 第4章 基于DSL的状态控制语言设计 | 第54-69页 |
| 4.1 浸没系统关联性说明 | 第54-56页 |
| 4.2 浸没系统数据交互DSL设计 | 第56-62页 |
| 4.2.1 系统数据交互分析 | 第56-57页 |
| 4.2.2 系统数据XML语言配制 | 第57-60页 |
| 4.2.3 系统数据XML读写存储 | 第60-62页 |
| 4.3 浸没系统控制流程DSL设计 | 第62-68页 |
| 4.3.1 逻辑控制XML语言配制 | 第62-63页 |
| 4.3.2 逻辑控制DSL语言定制 | 第63-65页 |
| 4.3.3 DSL词法语法分析 | 第65-67页 |
| 4.3.4 语义模型组装 | 第67-68页 |
| 4.4 本章小结 | 第68-69页 |
| 第5章 基于DSL的MCM控制系统运行和测试 | 第69-79页 |
| 5.1 下位机模式选择 | 第69-70页 |
| 5.2 局域网连接 | 第70-71页 |
| 5.3 人机交互界面 | 第71-74页 |
| 5.4 日志信息 | 第74-75页 |
| 5.5 网站数据查询 | 第75-78页 |
| 5.6 本章小结 | 第78-79页 |
| 第6章 总结和展望 | 第79-81页 |
| 6.1 总结 | 第79-80页 |
| 6.2 展望 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
