集成电路互连线电阻电感参数提取方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-26页 |
| ·集成电路发展 | 第9-12页 |
| ·互连效应 | 第12-13页 |
| ·连技术 | 第13-15页 |
| ·互连线寄生参数 | 第15-19页 |
| ·电阻参数 | 第17-18页 |
| ·电感参数 | 第18-19页 |
| ·电容参数 | 第19页 |
| ·互连线寄生参数提取方法 | 第19-24页 |
| ·传输线模型 | 第19-20页 |
| ·数值方法 | 第20-23页 |
| ·解析法 | 第23-24页 |
| ·国内外研究成果 | 第24页 |
| ·本文研究内容 | 第24-26页 |
| 2 矩量法计算互连线电阻电感参数 | 第26-37页 |
| ·积分方程 | 第26-27页 |
| ·离散化处理 | 第27-29页 |
| ·矩阵方程求解 | 第29-33页 |
| ·计算结果 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 改进矩量法计算截面不规则互连线电阻电感参数 | 第37-54页 |
| ·铜互连工艺 | 第37-39页 |
| ·连线截面为不规则图形时电阻电感参数的计算 | 第39-43页 |
| ·梯形截面互连线电阻电感计算 | 第43-47页 |
| ·粗糙表面互连线电阻电感值计算 | 第47-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 4 高阶基函数法计算互连线的电阻电感参数 | 第54-68页 |
| ·公式推导 | 第54-58页 |
| ·矩阵计算 | 第58-64页 |
| ·部分电阻矩阵 | 第58-62页 |
| ·部分电感矩阵 | 第62-64页 |
| ·计算结果 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-68页 |
| 5 电阻计算解析式 | 第68-84页 |
| ·Levenberg-Marquardt方法原理 | 第68-69页 |
| ·单根导线电阻计算解析式 | 第69-77页 |
| ·受地线影响时导线电阻计算解析式 | 第77-80页 |
| ·单根梯形截面导线电阻计算解析式 | 第80-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 6 电感计算解析式 | 第84-101页 |
| ·直流内部电感解析式 | 第84-91页 |
| ·直流内部电感的数值结果 | 第85-88页 |
| ·直流内部电感计算公式 | 第88-91页 |
| ·直流自感计算解析式 | 第91-100页 |
| ·公式推导 | 第92-96页 |
| ·计算结果 | 第96-100页 |
| ·本章小结 | 第100-101页 |
| 7 实验验证 | 第101-109页 |
| ·互连线电阻参数测量 | 第101-105页 |
| ·测试原理 | 第101-102页 |
| ·测试装置及样品 | 第102-103页 |
| ·测试结果 | 第103-105页 |
| ·模拟趋肤效应的电路模型 | 第105-108页 |
| ·本章小结 | 第108-109页 |
| 结论 | 第109-111页 |
| 创新点摘要 | 第111-112页 |
| 参考文献 | 第112-122页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第122-123页 |
| 致谢 | 第123-124页 |
| 作者简介 | 第124-125页 |
