| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-27页 |
| ·生物芯片技术简介 | 第7-8页 |
| ·介电电泳技术原理与微电极设计 | 第8-16页 |
| ·常用生物芯片微电极的制备方法 | 第16-19页 |
| ·生物芯片碳微电极的C-MEMS 制备工艺 | 第19-26页 |
| ·本论文主要研究内容 | 第26-27页 |
| 2 C-MEMS 工艺制备C-PPF 膜原理 | 第27-49页 |
| ·碳材料的结构特性及种类 | 第27-32页 |
| ·C-MEMS 工艺制备C-PPF 膜的原理 | 第32-34页 |
| ·光刻胶的组分与光化学反应原理 | 第34-38页 |
| ·光刻胶热解过程分析 | 第38-41页 |
| ·C-PPF 膜的性能表征 | 第41-49页 |
| 3 C-PPF 膜的制备及其性能测试分析 | 第49-62页 |
| ·C-MEMS 工艺热解BP212 制备C-PPF 膜 | 第49-53页 |
| ·C-MEMS 工艺热解SU-8 制备C-PPF 膜 | 第53-56页 |
| ·C-PPF 膜性能测试 | 第56-59页 |
| ·C-MEMS 微电极与传统微电极的比较 | 第59-62页 |
| 4 C-MEMS 微电极的制备 | 第62-70页 |
| ·介电电泳C-MEMS 微电极的制备 | 第62-66页 |
| ·介电电泳三维C-MEMS 微电极的制备 | 第66-68页 |
| ·平面电极与立体电极的结合 | 第68-70页 |
| 5 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·总结 | 第70-71页 |
| ·展望 | 第71-72页 |
| 致谢 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第79页 |