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以泡沫铜为中间层的耐高温焊缝制备与性能研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
第1章 绪论第9-26页
    1.1 研究背景及意义第9-11页
    1.2 国内外研究现状第11-23页
        1.2.1 高温功率芯片键合工艺第11-17页
        1.2.2 泡沫金属制备相关文献第17-20页
        1.2.3 泡沫金属在电子封装中应用第20-23页
    1.3 论文的可行性第23-24页
    1.4 本课题的研究内容第24-26页
第2章 实验材料及方案第26-31页
    2.1 实验材料第26-28页
    2.2 实验方案第28-30页
        2.2.1 泡沫铜的制备方案第28-29页
        2.2.2 泡沫铜焊缝的制备方案第29页
        2.2.3 泡沫铜可靠性测试方案第29-30页
    2.3 本章小结第30-31页
第3章 泡沫铜及高温焊缝的制备第31-47页
    3.1 前言第31页
    3.2 泡沫铜的制备第31-38页
        3.2.1 前驱合金块体的制备第31-32页
        3.2.2 泡沫铜制备工艺探索第32-36页
        3.2.3 脱合金反应机理第36-38页
    3.3 高温互连焊点的制备第38-45页
        3.3.1 高温焊点制备工艺探索第38-42页
        3.3.2 泡沫铜与铜基板连接机理第42-45页
    3.4 本章小结第45-47页
第4章 泡沫铜高温焊缝可靠性研究第47-59页
    4.1 前言第47页
    4.2 焊缝质量的表征第47-52页
        4.2.1 力学性能第47-49页
        4.2.2 导电性能第49-50页
        4.2.3 导热性能第50-52页
    4.3 等温时效下焊点的可靠性研究第52-57页
        4.3.1 焊点界面表征第53-54页
        4.3.2 维氏硬度第54-56页
        4.3.3 力学性能第56-57页
    4.4 本章小结第57-59页
结论第59-61页
参考文献第61-68页
致谢第68页

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