| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 本课题的研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 大功率垂直结构LED芯片的研究现状 | 第11-17页 |
| 1.2.1 国内外研究进展 | 第11-14页 |
| 1.2.2 提高垂直结构LED芯片出光效率的主要方法 | 第14-17页 |
| 1.3 本课题的主要研究内容 | 第17-18页 |
| 第二章 具有表面周期性微结构的垂直结构LED芯片的制备 | 第18-29页 |
| 2.1 GaN基LED外延生长工艺 | 第18页 |
| 2.2 GaN基垂直结构LED芯片制备关键工艺 | 第18-21页 |
| 2.2.1 Ag基高反射率p型欧姆接触技术 | 第19页 |
| 2.2.2 电镀铜基板技术 | 第19-21页 |
| 2.2.3 激光剥离蓝宝石衬底技术 | 第21页 |
| 2.3 GaN基垂直结构LED芯片测试分析设备 | 第21-23页 |
| 2.3.1 电致发光设备 | 第21-22页 |
| 2.3.2 扫描电子显微镜 | 第22-23页 |
| 2.3.3 其它测试分析设备 | 第23页 |
| 2.4 具有表面周期性微结构的垂直结构LED芯片制备 | 第23-28页 |
| 2.4.1 芯片制备流程 | 第23-26页 |
| 2.4.2 芯片性能表征 | 第26-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 N极性面氮化镓表面结构优化研究 | 第29-41页 |
| 3.1 引言 | 第29-31页 |
| 3.2 N极性面氮化镓的表面粗化研究 | 第31-35页 |
| 3.3 具有表面周期性微结构的N极性面氮化镓的表面粗化研究 | 第35-39页 |
| 3.4 本章小结 | 第39-41页 |
| 第四章 具有表面周期性微结构的大功率垂直结构LED芯片的n型电极结构优化研究 | 第41-52页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 n型电极结构设计的建模与仿真 | 第41-47页 |
| 4.2.1 COMSOL Multiphysics软件简介 | 第41-42页 |
| 4.2.2 理论分析 | 第42-44页 |
| 4.2.3 仿真模型 | 第44-46页 |
| 4.2.4 模拟结果分析 | 第46-47页 |
| 4.3 实验结果分析 | 第47-51页 |
| 4.4 本章小结 | 第51-52页 |
| 总结与展望 | 第52-54页 |
| 课题总结 | 第52-53页 |
| 工作展望 | 第53-54页 |
| 参考文献 | 第54-60页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 答辩委员会对论文的评定意见 | 第62页 |
