| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| ·研究背景 | 第8-12页 |
| ·MEMS概述 | 第8-9页 |
| ·MEMS的加工工艺 | 第9页 |
| ·牺牲层技术 | 第9-10页 |
| ·MEMS CAD和工艺模拟 | 第10-12页 |
| ·牺牲层腐蚀模拟现状 | 第12页 |
| ·本论文的主要工作 | 第12-13页 |
| ·论文纲要 | 第13-14页 |
| 第二章 牺牲层腐蚀化学机理及影响腐蚀的因素 | 第14-22页 |
| ·牺牲层腐蚀化学机理 | 第14-17页 |
| ·硅烷醇的生成 | 第14-15页 |
| ·HF与硅烷醇的反应 | 第15-17页 |
| ·牺牲层腐蚀的影响因素 | 第17-21页 |
| ·主要影响因素 | 第17-19页 |
| ·其它影响因素 | 第19-21页 |
| ·小结 | 第21-22页 |
| 第三章 牺牲层腐蚀模型与一维模拟 | 第22-32页 |
| ·基本腐蚀模型 | 第22-24页 |
| ·一维腐蚀模型 | 第24-27页 |
| ·扩散腐蚀模型 | 第24页 |
| ·Deal-Grove(D-G)模型 | 第24-25页 |
| ·一二阶联合模型 | 第25-26页 |
| ·Freundlich等温线动力系统 | 第26-27页 |
| ·Langmuir-Hinshelwood (L-H)模型 | 第27页 |
| ·power law腐蚀模型以及求解算法 | 第27-28页 |
| ·一维模拟实现 | 第28-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第四章 牺牲层腐蚀二维模拟 | 第32-46页 |
| ·二维极坐标腐蚀模型 | 第32-33页 |
| ·腐蚀模型求解算法 | 第33-35页 |
| ·扩散方程数值求解算法 | 第33-34页 |
| ·运用Fully Implicit数值解法求解扩散方程 | 第34-35页 |
| ·腐蚀仿真实现 | 第35-37页 |
| ·关于二维模型的讨论 | 第37-38页 |
| ·二维腐蚀模型的建立 | 第38-40页 |
| ·二维腐蚀模拟程序实现 | 第40-45页 |
| ·二维扩散方程解法 | 第40-43页 |
| 1. 古典显式格式和隐式格式 | 第40-41页 |
| 2. Crank-Nicolson差分格式 | 第41-42页 |
| 3. 交替方向(ADI)隐式差分格式 | 第42-43页 |
| ·求解算法的运用 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第五章 牺牲层腐蚀二维模拟实验验证 | 第46-56页 |
| ·工艺流程和版图设计 | 第46-47页 |
| ·模拟参数设定 | 第47-48页 |
| ·实验结果与模拟结果的对比 | 第48-54页 |
| ·开孔结构腐蚀的验证 | 第48-51页 |
| ·悬臂梁和固支梁结构腐蚀的验证 | 第51-52页 |
| ·拐角腐蚀的验证 | 第52-53页 |
| ·其他结构腐蚀的验证 | 第53-54页 |
| ·讨论 | 第54-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第六章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·本章主要工作和存在的问题 | 第56页 |
| ·本文主要工作总结 | 第56页 |
| ·存在的主要问题 | 第56页 |
| ·下一步工作展望 | 第56-58页 |
| ·对二维腐蚀模型进行修正 | 第56-57页 |
| ·采用Level Set方法 | 第57页 |
| ·三维腐蚀模拟实现 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 图表索引 | 第62-65页 |
| 个人简介 | 第65页 |
| 攻读硕士期间发表论文 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66页 |