用于晶圆传输的同步带传动机械手误差分析与补偿
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·课题的研究目的和意义 | 第8页 |
| ·晶圆传输机器人研究与发展现状 | 第8-14页 |
| ·国外研究与发展现状 | 第10-13页 |
| ·国内研究与发展现状 | 第13-14页 |
| ·同步带发展及应用现状 | 第14-15页 |
| ·精度分析与标定技术研究综述 | 第15-16页 |
| ·精度分析研究综述 | 第15-16页 |
| ·标定技术研究综述 | 第16页 |
| ·课题来源及主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 晶圆传输机械手同步带传动分析 | 第18-31页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·同步带传动应用特性 | 第18-20页 |
| ·同步带传动特点 | 第18-19页 |
| ·同步带分类 | 第19-20页 |
| ·同步带传动多边形效应误差 | 第20-24页 |
| ·多边形效应误差分析 | 第20-23页 |
| ·多边形效应误差仿真分析 | 第23-24页 |
| ·同步带传动偏心转动误差 | 第24-29页 |
| ·偏心转动误差分析 | 第24-27页 |
| ·偏心转动误差仿真分析 | 第27-29页 |
| ·同步带传动参数选择 | 第29页 |
| ·本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 晶圆传输机械手误差建模与分析 | 第31-41页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·晶圆传输机械手运动学建模 | 第31-33页 |
| ·晶圆传输机械手误差建模 | 第33-36页 |
| ·晶圆传输机械手灵敏度分析 | 第36-38页 |
| ·晶圆传输机械手显著性分析 | 第38-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第4章 晶圆传输机械手精度综合与误差补偿 | 第41-49页 |
| ·引言 | 第41页 |
| ·精度综合 | 第41-43页 |
| ·蒙特卡罗精度综合概述 | 第42页 |
| ·基于蒙特卡罗法的精度综合 | 第42-43页 |
| ·晶圆传输机械手误差补偿原理 | 第43-45页 |
| ·晶圆传输机械手运动学标定与补偿 | 第45-48页 |
| ·分步标定基本原理 | 第45-46页 |
| ·分步标定与补偿 | 第46-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 晶圆传输机器人实验研究 | 第49-55页 |
| ·引言 | 第49页 |
| ·晶圆传输机械手实验系统构建 | 第49-50页 |
| ·晶圆传输机械手标定实验 | 第50-54页 |
| ·末端位置及实验方案的确定 | 第50-51页 |
| ·分步标定前机械手末端定位误差 | 第51-52页 |
| ·分步标定后机械手末端定位误差 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61页 |
