集成电路成品率的版图灵敏度模型研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-6页
目录	第6-8页
第一章 绪论	第8-16页
·集成电路成品率研究的意义	第8-10页
·集成电路制造成品率的研究	第10-11页
·版图灵敏度的研究意义	第11-13页
·版图灵敏度模型的研究现状	第13-14页
·本论文的内容与安排	第14-16页
第二章 灵敏度模型研究的前期准备	第16-30页
·缺陷分析	第16-21页
·真实缺陷的测试结构	第16-19页
·缺陷的粒径分布和空间分布	第19-21页
·版图和缺陷的矩阵表示	第21页
·数学形态学算法	第21-25页
·数学形态学基本运算	第22-24页
·数学形态学算法的应用	第24-25页
·关键面积	第25-28页
·冗余物缺陷和短路关键面积	第25-26页
·丢失物缺陷和开路关键面积	第26-28页
·小结	第28-30页
第三章 反映到单一线网的短路灵敏度模型	第30-44页
·现有的短路灵敏度模型	第30-33页
·基于版图信息的灵敏度模型	第30-32页
·基于单位芯片上关键面积大小的短路灵敏度模型	第32-33页
·反映到单一线网的短路线网灵敏度模型	第33-35页
·短路线网灵敏度模型（NSS）的提出	第33-34页
·模型的计算机辅助算法	第34-35页
·模型的应用	第35-42页
·基于该模型的版图优化方法	第35-40页
·考虑粒径分布的模型应用	第40-41页
·优化方法的性能分析	第41-42页
·小结	第42-44页
第四章 考虑线网周围空白空间的开路灵敏度模型	第44-56页
·现有的开路灵敏度模型	第44-46页
·基于单位芯片上关键面积大小的开路灵敏度模型	第44-45页
·基于单位线网的开路灵敏度模型	第45-46页
·考虑线网周围空白空间的开路线网灵敏度模型	第46-49页
·模型提出的依据	第46-47页
·模型的提出	第47-48页
·模型的计算机辅助算法	第48-49页
·模型的应用	第49-54页
·模型初步验证	第49-51页
·对复杂版图的验证	第51-54页
·模型的性能分析及适用范围	第54页
·小结	第54-56页
第五章 结束语	第56-60页
致谢	第60-62页
参考文献	第62-68页
研究成果	第68-69页