| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-31页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第12-14页 |
| 1.2 切断加工技术的研究现状 | 第14-19页 |
| 1.3 微细精密加工研究现状 | 第19-28页 |
| 1.4 课题的来源及论文的主要研究内容 | 第28-31页 |
| 1.4.1 课题的来源 | 第28页 |
| 1.4.2 论文主要的研究内容 | 第28-31页 |
| 第二章 直线微槽尖端诱导裂纹扩展的切断理论模型 | 第31-49页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 微尖端的应力场 | 第31-33页 |
| 2.2.1 微尖端断裂类型 | 第31-32页 |
| 2.2.2 微尖端的应力场 | 第32-33页 |
| 2.3 微槽尖端钝化的应力场 | 第33-35页 |
| 2.4 微尖端的脆性断裂判据 | 第35-38页 |
| 2.5 微槽尖端的应力集中 | 第38-40页 |
| 2.6 微槽尖端诱导裂纹切断理论和切断力模型 | 第40-43页 |
| 2.7 微压痕裂纹长度与断裂韧度 | 第43-45页 |
| 2.8 硬脆性材料表面的微压痕实验原理及参数化 | 第45-46页 |
| 2.9 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断理论和切断力模型 | 第46-48页 |
| 2.10 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 微压痕尖端诱导裂纹扩展性能及切断应用 | 第49-64页 |
| 3.1 引言 | 第49页 |
| 3.2 硬脆性材料表面的微压痕尖端裂纹扩展特性 | 第49-54页 |
| 3.2.1 微压痕尖端微裂纹的扩展机制 | 第49-52页 |
| 3.2.2 微压痕尖端微裂纹几何特征 | 第52-54页 |
| 3.3 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工实验与检测 | 第54-55页 |
| 3.4 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工结果与讨论 | 第55-62页 |
| 3.4.1 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工的切断面形貌 | 第55-57页 |
| 3.4.2 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工的切断面形状误差和粗糙度 | 第57-59页 |
| 3.4.3 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工的切断力 | 第59-60页 |
| 3.4.4 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工的切断时间 | 第60-61页 |
| 3.4.5 微压痕阵列尖端诱导裂纹切断加工的动态过程 | 第61-62页 |
| 3.5 本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 各种硬脆性芯片材料的直线微槽尖端精密磨削性能研究 | 第64-80页 |
| 4.1 引言 | 第64页 |
| 4.2 硬脆性材料表面微尖端磨削加工 | 第64-73页 |
| 4.2.1 微槽尖端的磨削实验及工艺条件 | 第64-66页 |
| 4.2.2 工件表面微槽尖端的形貌 | 第66-70页 |
| 4.2.3 微槽尖端的磨削比 | 第70-72页 |
| 4.2.4 微槽尖端半径和微压痕尖端微裂纹长度 | 第72-73页 |
| 4.3 微槽尖端磨削的磨削力 | 第73-78页 |
| 4.3.1 微槽尖端磨削力实验 | 第73-74页 |
| 4.3.2 微尖端磨削力与微磨削深度的关系 | 第74-75页 |
| 4.3.3 微尖端磨削力与砂轮转速的关系 | 第75-76页 |
| 4.3.4 微槽尖端磨削力与进给速度的关系 | 第76-77页 |
| 4.3.5 微槽尖端磨削力与微压痕尖端微裂纹长度的关系 | 第77-78页 |
| 4.4 本章小结 | 第78-80页 |
| 第五章 直线微槽尖端精密诱导裂纹扩展的石英玻璃切断研究 | 第80-95页 |
| 5.1 引言 | 第80页 |
| 5.2 石英玻璃表面直线微槽尖端的微磨削实验及工艺条件 | 第80-82页 |
| 5.3 微槽尖端诱导切断加工实验与测量 | 第82-84页 |
| 5.4 微槽尖端诱导切断加工石英玻璃的结果分析 | 第84-93页 |
| 5.4.1 石英玻璃表面微槽尖端的形貌 | 第84-85页 |
| 5.4.2 微槽尖端诱导切断加工的切断面形貌 | 第85-86页 |
| 5.4.3 微槽尖端诱导切断加工的外载荷和加载时间与加载速度的关系 | 第86-87页 |
| 5.4.4 微槽尖端诱导切断加工的切断力与微尖端半径和加载速度的关系 | 第87-88页 |
| 5.4.5 微槽尖端诱导切断加工的切断力的预测 | 第88-90页 |
| 5.4.6 微槽尖端诱导切断加工的切断时间与微尖端半径的关系 | 第90页 |
| 5.4.7 微槽尖端诱导切断加工的切断面形状误差与加载速度的关系 | 第90-91页 |
| 5.4.8 微槽尖端诱导切断加工的切断面粗糙度与加载速度的关系 | 第91-92页 |
| 5.4.9 微槽尖端诱导切断加工的动态过程 | 第92-93页 |
| 5.5 本章小结 | 第93-95页 |
| 第六章 直线微槽尖端诱导裂纹扩展的单晶碳化硅和蓝宝石切断性能研究 | 第95-111页 |
| 6.1 引言 | 第95页 |
| 6.2 工件表面直线微槽尖端的微磨削实验和工艺条件 | 第95-96页 |
| 6.3 微槽尖端诱导切断加工实验与测量 | 第96-97页 |
| 6.4 微槽尖端诱导切断加工实验结果分析 | 第97-109页 |
| 6.4.1 工件表面微磨削微槽尖端的形貌 | 第97-98页 |
| 6.4.2 微槽尖端诱导切断加工的切断面边缘 | 第98-99页 |
| 6.4.3 微槽尖端诱导切断加工的切断面边缘与工件晶向的关系 | 第99-101页 |
| 6.4.4 微槽尖端诱导切断加工的切断面形貌与加载速度的关系 | 第101-102页 |
| 6.4.5 微槽尖端诱导切断加工的切断力与加载速度的关系 | 第102-105页 |
| 6.4.6 微槽尖端诱导切断加工的切断面形状误差与加载速度的关系 | 第105-106页 |
| 6.4.7 微槽尖端诱导切断加工的切断面粗糙度与加载速度的关系 | 第106-107页 |
| 6.4.8 微槽尖端诱导切断加工的切断时间与加载速度的关系 | 第107-109页 |
| 6.5 本章小结 | 第109-111页 |
| 结论与展望 | 第111-115页 |
| 1 主要工作及结论 | 第111-113页 |
| 2 创新点 | 第113-114页 |
| 3 展望与建议 | 第114-115页 |
| 参考文献 | 第115-130页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第130-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
| 附件 | 第134页 |
