六英寸晶圆片倒片系统的设计、分析与测试
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题背景 | 第8页 |
| ·本课题研究的目的及意义 | 第8-9页 |
| ·国内外相关技术发展现状 | 第9-14页 |
| ·晶圆片的发展现状 | 第9-10页 |
| ·晶圆片倒片技术的发展概况 | 第10-13页 |
| ·晶圆片倒片系统的工业应用和关键技术 | 第13-14页 |
| ·本文主要研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 6英寸晶圆片倒片系统原理方案设计与分析 | 第15-33页 |
| ·引言 | 第15-16页 |
| ·晶圆片倒片系统机械设计要求 | 第16-17页 |
| ·晶圆片倒片系统机械本体设计 | 第17-26页 |
| ·机械本体结构方案的确定 | 第17-20页 |
| ·机械本体概念设计 | 第20-23页 |
| ·机械本体样机设计 | 第23-26页 |
| ·晶圆片倒片系统电气控制设计 | 第26-32页 |
| ·电气控制方案的确定 | 第26-29页 |
| ·电气控制元件的选型 | 第29-31页 |
| ·控制电路的设计与布线 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第3章 晶圆片倒片系统运动学和动力学分析 | 第33-44页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·三个上下运动工位的运动学分析 | 第33-40页 |
| ·电机－皮带校核分析 | 第33-35页 |
| ·三个工位动力学模型分析 | 第35-40页 |
| ·齿轮传动运动分析 | 第40-43页 |
| ·齿轮传动强度校核 | 第40-42页 |
| ·齿轮传动运动模型分析 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 晶圆片倒片系统的控制编程 | 第44-56页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·控制方案概述以及程序设计原则 | 第44-46页 |
| ·总体控制方案 | 第44页 |
| ·控制程序设计原则 | 第44-46页 |
| ·晶圆片倒片系统的工作状态和模式 | 第46-47页 |
| ·晶圆片倒片系统的工作状态 | 第46页 |
| ·晶圆片倒片系统的工作模式 | 第46-47页 |
| ·任务需求和工艺流程 | 第47-54页 |
| ·执行机构及按钮开关功能概述 | 第47页 |
| ·晶圆片倒片系统工作流程 | 第47-54页 |
| ·控制编程设计方法 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第5章 晶圆片倒片系统的测试与调试 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·晶圆片倒片系统重复定位精度测试 | 第56-63页 |
| ·重复定位精度测试方法 | 第56-57页 |
| ·重复定位精度测试结果分析 | 第57-63页 |
| ·晶圆片倒片系统初期机械调试 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
