应用于极紫外光刻光源的脉冲电源研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题的背景目的和意义 | 第9-10页 |
| ·EUV光刻技术的发展及EUV光源的研究概况 | 第10-11页 |
| ·脉冲功率技术简介 | 第11-16页 |
| ·脉冲功率技术的基本原理 | 第12-13页 |
| ·脉冲功率技术的应用概况 | 第13-15页 |
| ·开关技术及磁开关概述 | 第15-16页 |
| ·课题研究的内容 | 第16-17页 |
| 第2章 脉冲电源负载及放电回路分析 | 第17-25页 |
| ·DPP EUV光源工作原理 | 第17-19页 |
| ·毛细管放电Z箍缩效应 | 第17-18页 |
| ·毛细管放电Z箍缩工作过程 | 第18-19页 |
| ·DPP EUV光源电气参数分析 | 第19-22页 |
| ·放电电流估算 | 第19-20页 |
| ·平衡箍缩时等离子体柱的电阻及电感估算 | 第20-22页 |
| ·脉冲电源放电回路分析 | 第22-24页 |
| ·脉冲电源设计指标 | 第24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第3章 磁开关及磁脉冲压缩网络设计原理 | 第25-38页 |
| ·磁开关原理分析 | 第25-26页 |
| ·磁滞回线及磁开关磁芯材料 | 第26-29页 |
| ·磁脉冲压缩网络的电路原理与参数设计方法 | 第29-36页 |
| ·磁脉冲压缩网络原理 | 第29-30页 |
| ·磁脉冲压缩网络的电路参数分析 | 第30-32页 |
| ·环形磁芯体积计算 | 第32-34页 |
| ·磁脉冲压缩级数设计 | 第34-35页 |
| ·磁芯复位问题 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 第4章 脉冲电源主电路原理及设计详述 | 第38-63页 |
| ·电源主线路原理 | 第38页 |
| ·高压直流初级充电环节 | 第38-40页 |
| ·中间储能脉冲形成环节设计 | 第40-52页 |
| ·谐振式倍压电路参数仿真 | 第41-43页 |
| ·脉冲形成环节仿真 | 第43-44页 |
| ·高压硅堆选择 | 第44-45页 |
| ·脉冲变压器设计 | 第45-48页 |
| ·开关选择及触发电路设计 | 第48-50页 |
| ·实验波形测试 | 第50-52页 |
| ·脉冲压缩环节设计与仿真分析 | 第52-62页 |
| ·磁开关的仿真模型 | 第53-54页 |
| ·磁脉冲压缩网络仿真 | 第54-61页 |
| ·磁开关设计 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第5章 脉冲电源短路放电实验 | 第63-68页 |
| ·末级放电回路结构 | 第63-64页 |
| ·实验波形分析 | 第64-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 | 第73-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
