| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 国内外研究现状总体概况 | 第11-13页 |
| 1.2.2 本人所在课题组已有研究 | 第13-14页 |
| 1.3 研究目标与研究内容 | 第14-15页 |
| 1.4 论文的结构 | 第15-17页 |
| 第二章 半导体制造及基于变动性的CT预测与优化理论 | 第17-28页 |
| 2.1 半导体制造特点简介 | 第17-19页 |
| 2.2 内部标杆评估法 | 第19-20页 |
| 2.3 变动性相关理论 | 第20-25页 |
| 2.3.1 变动性的来源及种类 | 第21-22页 |
| 2.3.2 变动性的基本量化方法 | 第22-25页 |
| 2.4 工厂物理学中生产周期预测方法 | 第25-26页 |
| 2.5 X-FACTOR | 第26-27页 |
| 2.6 本章小结 | 第27-28页 |
| 第三章 总体设计 | 第28-37页 |
| 3.1 研究工作总体设计 | 第28-30页 |
| 3.2 生产初调度模型设计 | 第30-34页 |
| 3.3 生产周期预测与优化总体设计 | 第34-36页 |
| 3.3.1 生产周期预测总体设计 | 第34-35页 |
| 3.3.2 生产周期优化总体设计 | 第35-36页 |
| 3.4 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 基于变动性的生产周期预测 | 第37-55页 |
| 4.1 基于时间分割的生产周期预测分析 | 第37-44页 |
| 4.1.1 逻辑生产线的构建 | 第37-38页 |
| 4.1.2 生产周期的组成研究 | 第38-44页 |
| 4.2 生产周期预测模型建立 | 第44-54页 |
| 4.2.1 基于变动性量化的生产周期预测模型建立 | 第44-50页 |
| 4.2.2 结合设备突发大故障的生产周期预测模型改进 | 第50-52页 |
| 4.2.3 多产品混合的生产周期预测方法改进 | 第52-54页 |
| 4.3 本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 生产周期优化研究 | 第55-71页 |
| 5.1 生产周期评估方法改进 | 第55-62页 |
| 5.1.1 生产周期优化的生产绩效初评估方法改进 | 第55-58页 |
| 5.1.2 生产周期优化的X-FACTOR值评估方法分析与改进 | 第58-62页 |
| 5.2 基于绩效评估与X-FACTOR评估的生产周期事前优化方法建立 | 第62-69页 |
| 5.3 本章小结 | 第69-71页 |
| 第六章 生产周期预测与优化实例 | 第71-79页 |
| 6.1 模型的输入输出 | 第71-72页 |
| 6.2 生产周期预测实例分析 | 第72-77页 |
| 6.2.1 生产线预测模型基本数据的获取 | 第72-74页 |
| 6.2.2 生产线预测模型结果比较 | 第74-77页 |
| 6.3 生产周期优化实例分析 | 第77-78页 |
| 6.4 本章总结 | 第78-79页 |
| 第七章 总结与展望 | 第79-81页 |
| 7.1 本文总结 | 第79-80页 |
| 7.2 工作展望 | 第80-81页 |
| 致谢 | 第81-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
