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军用微电子器件耐高过载技术研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
1 绪论第11-20页
   ·耐过载的定义第11-14页
     ·过载第11-12页
     ·高过载第12页
     ·军用微电子器件高过载应用环境分析第12-14页
     ·耐高过载水平的表征方式第14页
   ·国内外微电子器件抗高过载研究情况第14-15页
     ·硅 MEMS加速度传感器第14-15页
     ·专用集成电路第15页
   ·耐高过载水平与材料力学性能第15-17页
     ·高过载条件下微电子器件的受力形式第15-16页
     ·材料的力学性能指标第16页
     ·高过载条件下的失效模式和应力极限第16-17页
   ·理论基础和研究方法第17-20页
     ·耐高过载技术研究的理论基础第17页
     ·研究方法第17-20页
2 耐高过载 HIC基板制造技术第20-32页
   ·LTCC(低温共烧陶瓷)落片过程和操作方法第20-22页
   ·LTCC(低温共烧陶瓷)生瓷片打孔的操作方法第22-23页
   ·LTCC挤压填孔工艺方法第23-25页
   ·LTCC生瓷片印刷工艺操作方法第25页
   ·LTCC产品及厚膜 HIC的图形质量检查第25页
   ·LTCC带框架和无框架工艺生产的叠片第25-26页
   ·LTCC层压工艺方法第26-27页
   ·生瓷体切割的工艺方法第27-28页
   ·低温共烧陶瓷(LTCC)多层基板烧结的工艺方法第28页
   ·LTCC多层基板特性的评价第28页
   ·LTCC基板耐高过载试验分析第28-32页
     ·试验目标第28-29页
     ·影响基板抗冲击能力因素的试验第29页
     ·LTCC基板耐高过载试验记录及结论第29-32页
3 耐高过载组装互连加固技术第32-37页
   ·LTCC电路耐高过载试验 H77胶加固方法第32-33页
     ·LTCC电路引腿的H77胶加固过程第32-33页
     ·LTCC电路焊道及金属框与基板的连接处的H77胶加固过程第33页
     ·LTCC电路盖板与钢板加固工艺过程第33页
   ·MCM-C耐高过载加固工艺研究第33-37页
     ·片式元件(片式电容、电阻等)加固第33-34页
     ·LTCC衬底与金属外壳底座粘接加固第34-37页
4 耐高过载封装技术第37-48页
   ·LTCC基板与封装的一体化制造第37-40页
     ·一体化封装的基本结构与工艺设计第37-38页
     ·一体化制造工艺第38-39页
     ·封装的性能检测试验第39-40页
   ·MCM-C组装封装工艺研究第40-48页
     ·MCM-C的主要组装工艺技术第40-42页
     ·MCM-C的常用封装型式第42-43页
     ·MCM-C组装封装基本工艺设计第43-48页
5 耐高过载试验研究第48-63页
   ·JHG-241型硅橡胶灌封试验第48-51页
     ·材料及样品制备第48-49页
     ·试验条件和试验结果第49-50页
     ·试验分析及相关结论第50-51页
   ·241硅胶与石蜡灌封对比试验第51-56页
     ·材料及样品制备第51-53页
     ·试验分组和试验条件第53页
     ·试验结果第53-54页
     ·试验分析及相关结论第54-56页
   ·二次封装与内部灌封试验第56-59页
     ·二次封装与内部灌封概念第56-58页
     ·试验过程和试验结果第58-59页
   ·关于 MCM-C耐高过载加固第59-61页
     ·片式元件(片式电容、电阻等)加固第59-60页
     ·LTCC衬底与金属外壳底座粘接加固第60页
     ·一体化封装MCM-C的PGA引线加固第60页
     ·外壳盖板加固第60-61页
     ·灌封防护加固第61页
     ·二次封装加固第61页
   ·试验总结第61-63页
     ·MCM-C耐高过载水平第61页
     ·MCM-C耐高过载加固措施有待进一步深入研究第61页
     ·一体化封装MCM-C的封装结构、工艺和材料有待改进第61-63页
6 耐高过载设计技术第63-68页
   ·耐高过载结构和版图设计要求第63-64页
     ·外壳和封装形式设计第63页
     ·版图设计第63-64页
     ·产品与系统接口及装配第64页
   ·耐高过载工艺设计和加固要求第64-67页
     ·LTCC基板制作层数第64页
     ·元件在 LTCC基板上的安装与互连设计第64-67页
   ·其它相关要求第67-68页
结束语第68-69页
致谢第69-70页
参考文献第70-71页

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