| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 课题研究背景与意义 | 第8-10页 |
| 1.2 国内外研究发展趋势及现状 | 第10-14页 |
| 1.2.1 手动湿法台 | 第11页 |
| 1.2.2 半自动湿法台 | 第11-12页 |
| 1.2.3 全自动湿法台 | 第12-13页 |
| 1.2.4 存在的问题和解决途径 | 第13-14页 |
| 1.3 论文的主要内容 | 第14-16页 |
| 2 湿法清洗设备实时监控系统的需求分析 | 第16-25页 |
| 2.1 DNS FC3000已有的自动监测系统 | 第16-17页 |
| 2.2 设备内部气流和药液浓度监控的重要性 | 第17-20页 |
| 2.2.1 湿法台设备内部气流参数 | 第17-19页 |
| 2.2.2 SC1药液浓度参数 | 第19-20页 |
| 2.3 扩展监控系统的功能需求 | 第20-23页 |
| 2.3.1 模拟参量数字化采集与传输 | 第20-21页 |
| 2.3.2 预警功能 | 第21页 |
| 2.3.3 系统的可扩展性和兼容性 | 第21页 |
| 2.3.4 多方位实时通讯 | 第21页 |
| 2.3.5 建立面向对象的数据库中心 | 第21-22页 |
| 2.3.6 人机交互功能 | 第22-23页 |
| 2.4 扩展监控系统的可行性分析 | 第23-24页 |
| 2.4.1 技术可行性 | 第23-24页 |
| 2.4.2 经济可行性 | 第24页 |
| 2.4.3 操控可行性 | 第24页 |
| 2.5 本章小结 | 第24-25页 |
| 3 扩展监控系统的设计 | 第25-38页 |
| 3.1 信号采集模块设计 | 第26-29页 |
| 3.1.1 HEPA信号采集模块设计 | 第26-27页 |
| 3.1.2 Exhaust信号采集模块设计 | 第27-28页 |
| 3.1.3 SC1药液浓度信号采集系统设计 | 第28-29页 |
| 3.2 模数转换系统设计 | 第29-34页 |
| 3.2.1 通道数 | 第29-30页 |
| 3.2.2 采样频率与带宽 | 第30页 |
| 3.2.3 转换精度 | 第30-31页 |
| 3.2.4 综合选型 | 第31-33页 |
| 3.2.5 系统设计 | 第33-34页 |
| 3.3 数字信号与计算机自动化系统对接 | 第34-37页 |
| 3.3.1 RS-232 转RS-485 | 第34-36页 |
| 3.3.2 数字信号与自动化对接 | 第36-37页 |
| 3.4 本章小结 | 第37-38页 |
| 4 系统的实现 | 第38-47页 |
| 4.1 信号采集系统安装 | 第38-40页 |
| 4.2 模数转换器的连接 | 第40-43页 |
| 4.3 RS-485 转RS-232 端口连接 | 第43页 |
| 4.4 数字信号与计算机自动化系统连接 | 第43-45页 |
| 4.5 实践中出现的问题及解决方案 | 第45-46页 |
| 4.5.1 HEPA传感器异常显示及解决办法 | 第45页 |
| 4.5.2 SC1药液浓度无法显示及解决办法 | 第45-46页 |
| 4.5.3 HEPA/Exhaust显示无波动及解决方案 | 第46页 |
| 4.6 本章小结 | 第46-47页 |
| 5 系统测试 | 第47-53页 |
| 5.1 模块测试 | 第47-49页 |
| 5.2 界面测试 | 第49-50页 |
| 5.3 功能测试 | 第50-52页 |
| 5.4 本章小结 | 第52-53页 |
| 6 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 全文总结 | 第53页 |
| 6.2 研究展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-59页 |