光刻机双工件台系统的可靠性分配和预计
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题的来源及意义 | 第10-12页 |
| ·光刻机工件台技术的研究现状 | 第12-14页 |
| ·国外光刻机工件台技术的发展 | 第12-13页 |
| ·国内光刻机工件台技术的发展 | 第13-14页 |
| ·可靠性分配的研究现状 | 第14-15页 |
| ·可靠性预计的研究现状 | 第15-16页 |
| ·论文的研究内容 | 第16-17页 |
| ·论文的结构安排 | 第17-19页 |
| 第二章 双工件台系统的结构及层次划分 | 第19-30页 |
| ·双工件台系统可靠性工程的基本环节 | 第19-22页 |
| ·光刻机双工件台系统的层次划分 | 第22-29页 |
| ·产品层次简介 | 第22-23页 |
| ·光刻机双工件台系统的工作原理及子系统划分 | 第23-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 双工件台系统的可靠性分配 | 第30-58页 |
| ·双工件台系统可靠性分配的概念及意义 | 第30-31页 |
| ·双工件台系统可靠性分配的流程及注意事项 | 第31-32页 |
| ·双工件台系统的可靠性分配指标的选择 | 第32-34页 |
| ·双工件台系统的可靠性分配方法 | 第34-49页 |
| ·工程中常用的可靠性分配方法分析 | 第34-35页 |
| ·双工件台系统可靠性分配方法 | 第35-38页 |
| ·相关数学理论概述 | 第38-41页 |
| ·双工件台系统可靠性分配模型的建立 | 第41-49页 |
| ·双工件台系统可靠性指标分配 | 第49-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第四章 双工件台系统的可靠性预计 | 第58-76页 |
| ·双工件台系统可靠性预计的特点分析 | 第58-59页 |
| ·双工件台系统可靠性预计的目的及意义 | 第59-60页 |
| ·常用的可靠性预计方法 | 第60-61页 |
| ·双工件台可靠性预计模型 | 第61-73页 |
| ·硅片台和掩模台的简化可靠性模型 | 第62-68页 |
| ·双工件台系统可靠性预计方法 | 第68-69页 |
| ·改进的相似产品类比论证法流程 | 第69-73页 |
| ·实例分析 | 第73-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 总结与展望 | 第76-78页 |
| ·总结 | 第76-77页 |
| ·展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-84页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第84-85页 |
