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LTCC用铜电子浆料的制备与性能

摘要第3-4页
ABSTRACT第4-5页
第1章 绪论第8-24页
    1.1 微电子封装用基板材料第8-11页
        1.1.1 微电子封装用基板材料概述第9-10页
        1.1.2 微电子封装用LTCC基板及LTCC技术第10-11页
    1.2 微电子封装用厚膜电子浆料第11-15页
        1.2.1 厚膜电子浆料用金属导电相第12-13页
        1.2.2 厚膜电子浆料用玻璃粉第13-15页
    1.3 用于LTCC基板的铜电子浆料第15-21页
        1.3.1 铜电子浆料研究进展第15-17页
        1.3.2 铜电子浆料抗氧化性研究第17-21页
    1.4 本课题研究意义及内容第21-24页
第2章 实验与测试第24-32页
    2.1 实验原料与设备第24-25页
    2.2 实验方案第25-29页
        2.2.1 玻璃粉的制备第26-27页
        2.2.2 玻璃凝胶包覆铜粉的制备及热处理第27-28页
        2.2.3 铜浆的制备第28-29页
        2.2.4 铜浆/LTCC排胶与共烧第29页
    2.3 性能测试与表征第29-32页
第3章 铜浆用玻璃粉第32-50页
    3.1 溶胶凝胶法制备玻璃粉过程分析第32-36页
        3.1.1 溶胶凝胶法制备玻璃粉机理第32-35页
        3.1.2 溶胶凝胶法制备的玻璃粉形貌晶型特征第35-36页
    3.2 玻璃粉形貌控制第36-39页
        3.2.1 分散剂的加入对玻璃粉形貌和分散性的影响第36-38页
        3.2.2 球磨方式对玻璃粉形貌和分散性的影响第38-39页
    3.3 玻璃粉组成对其熔融性能的影响第39-41页
    3.4 玻璃粉对铜浆烧结性能的影响第41-47页
        3.4.1 玻璃粉组成对烧结铜膜的影响第41-45页
        3.4.2 玻璃粉含量对烧结铜膜的影响第45-47页
    3.5 本章小结第47-50页
第4章 玻璃凝胶包覆铜粉第50-62页
    4.1 溶胶凝胶法制备玻璃凝胶包覆铜粉过程分析第50-52页
    4.2 包覆条件对玻璃凝胶包覆铜粉的影响第52-54页
        4.2.1 包覆温度对玻璃凝胶包覆铜粉的影响第52页
        4.2.2 包覆时间对玻璃凝胶包覆铜粉的影响第52-53页
        4.2.3 包覆量对玻璃凝胶包覆铜粉的影响第53-54页
    4.3 玻璃凝胶包覆铜粉的抗氧化分析第54-60页
        4.3.1 包覆量对铜粉抗氧化性的影响第55-57页
        4.3.2 玻璃凝胶包覆铜粉的N_2热处理对其抗氧化性的影响第57-60页
    4.4 本章小结第60-62页
第5章 玻璃包覆铜浆/LTCC共烧性能第62-72页
    5.1 玻璃包覆铜浆/LTCCN_2排胶、N_2烧结第62-65页
        5.1.1 玻璃包覆铜浆/LTCCN_2排胶、N_2烧结后形貌第62-64页
        5.1.2 玻璃包覆铜浆/LTCCN_2排胶、N_2烧结后性能第64-65页
    5.2 玻璃包覆铜浆/LTCC空气排胶、N_2烧结第65-70页
        5.2.1 玻璃包覆铜浆/LTCC空气排胶、N_2烧结的抗氧化性能第65-67页
        5.2.2 玻璃包覆铜浆/LTCC空气排胶、N_2烧结后的形貌第67-69页
        5.2.3 玻璃包覆铜浆/LTCC空气排胶、N_2烧结后的性能第69-70页
    5.3 本章小结第70-72页
第6章 全文结论第72-74页
参考文献第74-80页
发表论文和参加科研情况说明第80-82页
致谢第82页

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