| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| ·课题来源 | 第8页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第8-9页 |
| ·功率放大控制卡应用背景及关键技术简述 | 第9-10页 |
| ·国内外研究现状 | 第10-13页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 2 功率放大控制卡的功能分析和总体设计 | 第15-21页 |
| ·光刻机控制系统的架构简述 | 第15-16页 |
| ·功率放大控制卡的工作过程及功能分析 | 第16-18页 |
| ·功率放大控制卡系统功能模块的设计 | 第18-20页 |
| ·本章小结 | 第20-21页 |
| 3 功率放大控制卡硬件电路设计 | 第21-33页 |
| ·硬件方案论证及总体构成 | 第21-22页 |
| ·现场可编程门阵列FPGA 概述 | 第22-23页 |
| ·DC-DC 电源电路 | 第23-25页 |
| ·AD 采样及DA 转换电路 | 第25-27页 |
| ·光纤高速串行链接通信电路 | 第27-28页 |
| ·数字隔离输入和隔离输出电路 | 第28-30页 |
| ·光栅接口电路 | 第30页 |
| ·FPGA 配置电路 | 第30-32页 |
| ·时序控制FPGA 电路 | 第32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 4 功率放大控制卡逻辑电路功能的实现 | 第33-48页 |
| ·系统程序设计的方法比较 | 第33-34页 |
| ·软件系统整体结构设计 | 第34-35页 |
| ·硬件描述语言Verilog HDL 及系统开发环境的概述 | 第35-37页 |
| ·系统主要模块的数据流以及实现 | 第37-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 5 系统调试与仿真分析 | 第48-59页 |
| ·电气的测试与分析 | 第48-50页 |
| ·各功能模块的测试与分析 | 第50-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 6 总结与展望 | 第59-62页 |
| ·本文总结 | 第59-60页 |
| ·本文的创新点 | 第60页 |
| ·后续工作展望 | 第60-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 附录 攻读学位期间发表学术论文目录 | 第66页 |