用于波像差检测的二元光栅掩模标记优化方法研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-13页
·课题来源	第8页
·选题意义及背景	第8-9页
·国内外基本研究概况	第9-12页
·本文的主要研究内容	第12-13页
2 基于二元光栅掩模标记的波像差检测方法	第13-25页
·光刻机波像差基本概念	第13-16页
·部分相干成像模型	第16-17页
·完全相干照明时波像差检测方法	第17-20页
·部分相干照明时波像差检测方法	第20-24页
·本章小结	第24-25页
3 用于波像差检测的二元光栅掩模标记优化方法	第25-47页
·光瞳面离散采样原理	第25-26页
·波像差的灵敏度分析	第26-36页
·条件数与误差传播率	第36-38页
·二元光栅掩模标记优化的目标函数	第38-42页
·优化方法的选择	第42-46页
·本章小结	第46-47页
4 优化方法的实现及仿真分析	第47-54页
·完全相干照明时的仿真分析	第47-50页
·部分相干照明时的仿真分析	第50-53页
·本章小结	第53-54页
5 总结与展望	第54-56页
·全文总结	第54页
·展望	第54-56页
致谢	第56-57页
参考文献	第57-61页
附录 攻读硕士学位期间发表论文	第61页