新型PST铁电薄膜的制备及其性能研究

摘    要	第1-4页
ABSTRACT	第4-7页
1 绪    论	第7-24页
·铁电材料的研究发展	第7-9页
·铁电材料的选择	第9-10页
·Pb(Sc0.5Ta0.5)O3体材料的性质	第10-13页
·PST材料的性能及应用	第13-17页
·热释电-铁电UFPA	第17-22页
·本文研究的主要内容及其意义	第22-24页
2 PST铁电薄膜的制备	第24-35页
·PST铁电薄膜的制备技术	第24-26页
·PST铁电薄膜的新型Sol-Gel法制备工艺	第26-31页
·匀胶速度和时间对PST薄膜的影响	第31-32页
·热处理工艺及其对薄膜性能的影响	第32-33页
·PST凝胶的热重和差热分析	第33-35页
3 PST铁电薄膜的微结构分析	第35-42页
·PST铁电薄膜的X射线衍射分析	第35-39页
·PST铁电薄膜的扫描电镜分析	第39-42页
4 PST铁电薄膜的电性能表征	第42-52页
·介电性能	第42-44页
·铁电性能	第44-45页
·C-V特性	第45-46页
·漏电流性能	第46-47页
·热释电性能	第47-52页
5 全文总结	第52-54页
致    谢	第54-55页
参考文献	第55-60页
附录1  攻读硕士学位期间发表的论文目录	第60页