微电子制芯领域中磁悬浮精密定位平台的研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-11页 |
| 图表索引 | 第11-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-25页 |
| ·引言 | 第13-16页 |
| ·光刻机的发展现状 | 第16-17页 |
| ·精密定位平台的技术研究与应用 | 第17-20页 |
| ·国外定位平台的技术现状 | 第17-19页 |
| ·我国定位平台的技术现状 | 第19-20页 |
| ·国内外磁悬浮技术的研究进展 | 第20-22页 |
| ·本文的研究内容和研究方法 | 第22-24页 |
| ·研究内容 | 第22-23页 |
| ·论文主要章节及内容 | 第23-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第二章 磁悬浮技术和直线电机驱动的基本原理 | 第25-33页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·磁悬浮技术的工作原理 | 第25-29页 |
| ·磁路与磁吸力的计算 | 第26-28页 |
| ·磁悬浮系统的磁力特性 | 第28-29页 |
| ·磁悬浮轴承的结构原理 | 第29页 |
| ·磁悬浮列车的结构原理 | 第29-30页 |
| ·直线电机驱动的工作原理 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第三章 磁悬浮精密定位平台的设计 | 第33-50页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·磁悬浮定位平台结构的设计 | 第33-35页 |
| ·磁轴承式结构的定位平台 | 第33-34页 |
| ·磁悬浮导轨式结构的定位平台 | 第34-35页 |
| ·磁悬浮系统的刚度与阻尼设计 | 第35-38页 |
| ·磁悬浮系统磁路的设计与计算 | 第38-41页 |
| ·磁路与磁场的关系式 | 第38-40页 |
| ·电磁铁磁路的设计计算 | 第40-41页 |
| ·定位平台的控制系统 | 第41-45页 |
| ·磁悬浮系统的PD反馈控制器 | 第41-43页 |
| ·直线电机的PID伺服控制器 | 第43-45页 |
| ·直线电机的驱动力计算 | 第45-46页 |
| ·定位平台工作点的误差理论分析 | 第46-48页 |
| ·定位平台设计中应注意的其他问题 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 磁悬浮定位平台的耦合分析与解耦控制 | 第50-72页 |
| ·引言 | 第50页 |
| ·磁悬浮定位平台的磁力耦合分析 | 第50-55页 |
| ·电磁铁磁力的计算 | 第51-52页 |
| ·电涡流传感器输出电流的计算 | 第52-54页 |
| ·耦合磁力的计算 | 第54-55页 |
| ·磁悬浮定位平台的解耦控制 | 第55-62页 |
| ·磁悬浮系统的动力学模型 | 第56-57页 |
| ·控制系统状态方程和输出方程的建立 | 第57-58页 |
| ·磁悬浮系统的解耦控制 | 第58-62页 |
| ·磁悬浮系统解耦控制的仿真试验 | 第62-66页 |
| ·解耦后磁悬浮系统的阶跃响应仿真 | 第63页 |
| ·解耦后磁悬浮控制系统的抗干扰仿真 | 第63-66页 |
| ·解耦控制后磁悬浮系统的稳定性分析 | 第66-70页 |
| ·非线性动力学的基础知识 | 第67-68页 |
| ·磁悬浮系统解耦后的稳定性分析 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 第五章 磁悬浮平台直线定位运动的仿真与试验 | 第72-84页 |
| ·引言 | 第72页 |
| ·磁悬浮定位平台直线运动的数学模型 | 第72-74页 |
| ·PID控制仿真模型的建立与增益系数的确定 | 第74-75页 |
| ·平台输出位移的仿真试验及精度分析 | 第75-83页 |
| ·平台输出位移的仿真试验与结果 | 第75-82页 |
| ·控制器增益系数对平台输出位移的影响 | 第75-78页 |
| ·固有振荡频率对平台输出位移的影响 | 第78-79页 |
| ·阻尼对平台输出位移的影响 | 第79-82页 |
| ·定位平台控制精度的分析 | 第82-83页 |
| ·本章小结 | 第83-84页 |
| 第六章 磁悬浮精密定位平台的原理样机制作及试验 | 第84-90页 |
| ·引言 | 第84页 |
| ·原理样机的制作 | 第84-87页 |
| ·原理样机的直线定位试验 | 第87-89页 |
| ·非悬浮状态下平台的直线定位试验 | 第87-88页 |
| ·悬浮状态下平台的直线定位试验 | 第88-89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第七章 结论与展望 | 第90-93页 |
| ·引言 | 第90页 |
| ·论文的研究成果 | 第90-91页 |
| ·论文的创新点 | 第91页 |
| ·进一步的研究工作与展望 | 第91-93页 |
| 参考文献 | 第93-100页 |
| 博士期间发表的论文、申请的专利与基金课题 | 第100-102页 |
| 博士期间担任社会职务及获奖情况 | 第102-103页 |
| 致谢 | 第103-105页 |
| 作者简历 | 第105-106页 |
