面向IC封装的精密定位平台的运动控制研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第8-11页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·课题研究意义 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状及分析 | 第11-14页 |
| ·驱动方式 | 第11-12页 |
| ·运动机构形式 | 第12-13页 |
| ·动力学建模与控制策略 | 第13-14页 |
| ·本文研究思路及主要内容 | 第14-16页 |
| 第2章 控制系统总体方案设计 | 第16-24页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·定位平台结构 | 第16-17页 |
| ·定位平台技术指标 | 第16-17页 |
| ·定位平台结构设计 | 第17页 |
| ·控制系统总体结构 | 第17-21页 |
| ·直线电机 | 第18-19页 |
| ·CORNET驱动器 | 第19-20页 |
| ·控制卡的选择与性能 | 第20-21页 |
| ·光栅尺的选择与性能 | 第21页 |
| ·主控元件 | 第21页 |
| ·试验机的开发 | 第21-22页 |
| ·本章小结 | 第22-24页 |
| 第3章 IC封装运动平台的数学模型推导 | 第24-33页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·直线电机的建模 | 第24-29页 |
| ·直线电机的驱动特点 | 第24-26页 |
| ·交流永磁同步直线电机的驱动原理 | 第26页 |
| ·直线电机的数学建模 | 第26-29页 |
| ·定位平台机电系统的数学模型 | 第29-32页 |
| ·动力学理论模型推导的难点 | 第29-30页 |
| ·定位平台机电系统的数学模型 | 第30-32页 |
| ·本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 IC封装平台运动控制器的设计与仿真 | 第33-48页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·PID控制原理 | 第33-35页 |
| ·位置控制器的设计与仿真 | 第35-44页 |
| ·位置控制器设计要求及设计方法 | 第35-37页 |
| ·电流环的设计 | 第37-38页 |
| ·速度环的设计 | 第38-41页 |
| ·位置控制器的设计与仿真 | 第41-44页 |
| ·复合控制器的设计 | 第44-47页 |
| ·复合控制器的原理 | 第44-45页 |
| ·复合控制器前馈设计 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第5章 IC封装平台控制系统的实验和结果分析 | 第48-57页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·封装平台的实验目的与实验平台的建立 | 第48-50页 |
| ·IC封装平台实验的目的 | 第48页 |
| ·IC封装实验平台的建立 | 第48-50页 |
| ·实验步骤 | 第50页 |
| ·实验数据结果及其分析 | 第50-56页 |
| ·X-Y定位平台空载时的实验 | 第50-53页 |
| ·X-Y定位平台最大负载时的实验 | 第53-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 结论 | 第57-59页 |
| 参考文献 | 第59-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
