基于扰动观测器的超精密宏微驱动定位技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| ·课题研究的背景及意义 | 第9-10页 |
| ·高速高精度定位系统的研究现状 | 第10-15页 |
| ·大行程高精度定位平台的研究现状 | 第10-12页 |
| ·宏微双重驱动系统定位控制技术研究现状 | 第12-14页 |
| ·扰动观测器的研究现状 | 第14-15页 |
| ·本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 宏微双重驱动系统 | 第17-35页 |
| ·宏动直线电机驱动系统 | 第17-30页 |
| ·直线电机工作原理 | 第17-18页 |
| ·直线电机矢量控制系统 | 第18-28页 |
| ·直线电机驱动系统软硬件设计 | 第28-30页 |
| ·微动音圈电机驱动系统 | 第30-32页 |
| ·音圈电机数学模型 | 第30-31页 |
| ·音圈电机伺服控制原理 | 第31-32页 |
| ·宏微双重驱动系统模型 | 第32页 |
| ·扰动仿真 | 第32-34页 |
| ·本章小结 | 第34-35页 |
| 第3章 扰动观测器的原理与设计 | 第35-43页 |
| ·基本思想 | 第36页 |
| ·结构原理 | 第36-38页 |
| ·扰动观测器的实现 | 第38-40页 |
| ·面向电流的扰动观测器 | 第38-39页 |
| ·面向速度的扰动观测器 | 第39-40页 |
| ·扰动观测器Q滤波器的设计 | 第40页 |
| ·扰动观测器的仿真 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 扰动观测器的电流与速度检测 | 第43-52页 |
| ·电流检测 | 第43-47页 |
| ·电流检测电路设计 | 第43-44页 |
| ·基于FPGA的FIR滤波器实现 | 第44-47页 |
| ·速度检测 | 第47-51页 |
| ·光栅信号处理电路 | 第47-48页 |
| ·测速方法 | 第48-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 第5章 实验与数据分析 | 第52-63页 |
| ·系统实验台的建立 | 第52-55页 |
| ·宏微定位工作台 | 第52-53页 |
| ·宏动台单元的选择 | 第53-54页 |
| ·微动台单元的选择 | 第54-55页 |
| ·电流过采样实验 | 第55-57页 |
| ·MT法速度检测实验 | 第57-59页 |
| ·扰动观测器实验 | 第59-61页 |
| ·直线电机定位噪声对比实验 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
