双工件台六自由度微动台运动控制研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章. 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1. 课题来源及研究目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2. 国内外研究现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1. 光刻机工件台系统国内外研究现状 | 第10-14页 |
| 1.2.2. 音圈电机伺服系统发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3. 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章. 双工件台功能介绍及结构分析 | 第17-27页 |
| 2.1. 引言 | 第17页 |
| 2.2. 扫描光刻机整体结构及工件台功能介绍 | 第17-18页 |
| 2.3. 工件台结构分析 | 第18-24页 |
| 2.3.1. 宏动台模块设计 | 第19-20页 |
| 2.3.2. 微动台模块设计 | 第20-23页 |
| 2.3.3. 换台模块设计 | 第23-24页 |
| 2.4. 工件台微动台系统指标分析 | 第24-25页 |
| 2.5. 本章小结 | 第25-27页 |
| 第3章. 六自由度微动台模型解耦及有效性验证 | 第27-45页 |
| 3.1. 引言 | 第27页 |
| 3.2. 工件台六自由度运动学解耦运算 | 第27-33页 |
| 3.2.1. Z向解耦运算 | 第28-30页 |
| 3.2.2. XY向解耦运算 | 第30-32页 |
| 3.2.3. Z向与XY向相互耦合分析 | 第32-33页 |
| 3.3. 工件台单自由度动力学模型 | 第33-35页 |
| 3.3.1. 音圈电机数学模型 | 第33-34页 |
| 3.3.2. 控制对象单自由度动力学模型 | 第34-35页 |
| 3.4. 工件台六自由度动力学解耦模型 | 第35-42页 |
| 3.4.1. 位置相关解耦 | 第36-39页 |
| 3.4.2. 力相关解耦 | 第39-42页 |
| 3.5. 动力学模型有效性仿真验证 | 第42-44页 |
| 3.6. 本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章. 六自由度微动台运动控制仿真 | 第45-60页 |
| 4.1. 引言 | 第45页 |
| 4.2. 音圈电机推力扰动分析 | 第45-46页 |
| 4.3. 滑模控制简介 | 第46-48页 |
| 4.3.1. 滑模控制基本定义和数学表达式 | 第46-47页 |
| 4.3.2. 滑模控制中的抖振问题 | 第47-48页 |
| 4.4. 基于指数趋近律的滑模控制 | 第48-54页 |
| 4.4.1. 工件台六自由度动力学方程 | 第48-49页 |
| 4.4.2. 控制律设计 | 第49-50页 |
| 4.4.3. 仿真结果对比与分析 | 第50-54页 |
| 4.5. 基于双幂次趋近律的快速终端滑模控制 | 第54-59页 |
| 4.5.1. 快速终端滑模简介 | 第54-55页 |
| 4.5.2. 控制律设计 | 第55-56页 |
| 4.5.3. 仿真结果对比与分析 | 第56-59页 |
| 4.6. 本章小结 | 第59-60页 |
| 第5章. 六自由度微动台运动控制实验研究 | 第60-78页 |
| 5.1. 引言 | 第60页 |
| 5.2. 微动台运动控制系统搭建及设计 | 第60-64页 |
| 5.3. 运动控制卡程序设计 | 第64-72页 |
| 5.3.1. FPGA程序设计 | 第64-68页 |
| 5.3.2. DSP程序设计 | 第68-70页 |
| 5.3.3. FIR滤波器程序设计 | 第70-72页 |
| 5.4. 微动台运动控制实验 | 第72-77页 |
| 5.4.1. 微动台单自由度正弦实验 | 第72-74页 |
| 5.4.2. 微动台六自由度稳定悬浮实验 | 第74-77页 |
| 5.5. 本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85页 |
