晶圆预对准装置的研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题的研究目的与意义 | 第9页 |
| 1.2 晶圆预对准系统的研究概述 | 第9-12页 |
| 1.3 国内外晶圆预对准装置的发展现状与分析 | 第12-15页 |
| 1.3.1 国外晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第12-14页 |
| 1.3.2 国内晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第14-15页 |
| 1.4 主要研究内容及技术要求 | 第15-17页 |
| 1.4.1 本课题的主要研究内容 | 第15-16页 |
| 1.4.2 装置设计的技术要求 | 第16-17页 |
| 第二章 晶圆预对准系统的总体方案和结构设计 | 第17-22页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 晶圆预对准方案的设计 | 第17-19页 |
| 2.2.1 预对准方案的设计 | 第17-18页 |
| 2.2.2 晶圆预对准装置的工作流程 | 第18页 |
| 2.2.3 预对准装置设计方案的特点 | 第18-19页 |
| 2.3 晶圆预对准装置的结构设计 | 第19-21页 |
| 2.4 本章小结 | 第21-22页 |
| 第三章 晶圆预对准装置的控制系统设计 | 第22-41页 |
| 3.1 引言 | 第22页 |
| 3.2 预对准装置的定位控制任务分析 | 第22-23页 |
| 3.3 控制系统的硬件组成 | 第23-35页 |
| 3.3.1 装置运动控制系统 | 第23-30页 |
| 3.3.2 电源模块系统的设计 | 第30-31页 |
| 3.3.3 真空吸附模块的设计 | 第31-33页 |
| 3.3.4 检测系统的设计 | 第33-35页 |
| 3.4 控制系统的软件总体设计 | 第35-40页 |
| 3.4.1 实时控制模块 | 第35-38页 |
| 3.4.2 通信模块 | 第38-40页 |
| 3.5 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 晶圆圆心和缺口定位算法的研究 | 第41-50页 |
| 4.1 引言 | 第41页 |
| 4.2 晶圆圆心定位算法 | 第41-47页 |
| 4.2.1 回转半径法 | 第41-42页 |
| 4.2.2 质心法 | 第42-44页 |
| 4.2.3 最小二乘圆拟合法 | 第44-46页 |
| 4.2.4 晶圆定位拟合算法比较与分析 | 第46-47页 |
| 4.3 晶圆缺口定位算法的研究 | 第47-49页 |
| 4.3.1 晶圆缺口检测算法 | 第47页 |
| 4.3.2 晶圆缺口拟合算法 | 第47-48页 |
| 4.3.3 晶圆缺口定位计算 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 第五章 晶圆预对准系统精度分析与实验研究 | 第50-55页 |
| 5.1 引言 | 第50页 |
| 5.2 晶圆预对准系统的精度分析 | 第50-52页 |
| 5.2.1 结构误差 | 第50-51页 |
| 5.2.2 运动误差 | 第51页 |
| 5.2.3 检测误差 | 第51-52页 |
| 5.2.4 算法计算误差 | 第52页 |
| 5.3 晶圆预对准装置的实验 | 第52-54页 |
| 5.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
| 附录 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
