| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| 1.1 课题背景 | 第10-14页 |
| 1.1.1 光刻技术的发展 | 第10-14页 |
| 1.1.2 套准精度的重要意义 | 第14页 |
| 1.2 本文篇章结构 | 第14-15页 |
| 第2章 Canon KrF 光刻机套准精度分析 | 第15-28页 |
| 2.1 套准精度的定义 | 第15-16页 |
| 2.2 套准误差的组成 | 第16-22页 |
| 2.3 影响套准精度因素分析 | 第22-27页 |
| 2.3.1 环境温度影响 | 第22页 |
| 2.3.2 曝光平台步进精度分析 | 第22-27页 |
| 2.3.3 套准精度偏移 | 第27页 |
| 2.4 本章小结 | 第27-28页 |
| 第3章 Canon KrF 光刻机套准精度改善方案 | 第28-44页 |
| 3.1 晶圆环境温度控制对套准精度的改善 | 第28-32页 |
| 3.1.1 晶圆传送温度控制 | 第28-30页 |
| 3.1.2 光刻机硬件改造分析 | 第30-31页 |
| 3.1.3 温度控制对套准精度的改善 | 第31-32页 |
| 3.1.4 小结 | 第32页 |
| 3.2 提高曝光平台步进精度对套准精度的改善 | 第32-41页 |
| 3.2.1 曝光平台步进原理分析 | 第32-37页 |
| 3.2.2 曝光平台步进精度提高 | 第37-39页 |
| 3.2.3 步进精度提高对套准精度的改善 | 第39-40页 |
| 3.2.4 小结 | 第40-41页 |
| 3.3 补偿机台参数改善套准精度 | 第41-44页 |
| 3.3.1 影响套准精度的参数 | 第41-42页 |
| 3.3.2 补偿机台参数改善套准精度 | 第42-43页 |
| 3.3.3 小结 | 第43-44页 |
| 第4章 结论 | 第44-45页 |
| 附件一 佳能KrF 扫描光刻机条状镜组补偿程序 | 第45-48页 |
| 附件二 佳能KrF 扫描光刻机ABBE 系数补偿程序 | 第48-57页 |
| 参考文献 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第59页 |