| 摘要 | 第4-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第13-34页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-15页 |
| 1.2 晶圆交接技术的研究现状 | 第15-22页 |
| 1.2.1 晶圆交接对交接机构的要求 | 第16-17页 |
| 1.2.2 晶圆交接机构的研究现状 | 第17-22页 |
| 1.3 并联柔顺机构建模与分析的研究现状 | 第22-27页 |
| 1.3.1 并联柔顺机构的整体建模方法研究现状 | 第22-24页 |
| 1.3.2 并联柔顺机构的柔度分析研究现状 | 第24-26页 |
| 1.3.3 并联柔顺机构位姿解算研究现状 | 第26-27页 |
| 1.4 大量离散点数据的平面拟合方法研究现状 | 第27-29页 |
| 1.4.1 平面拟合与评价的原则 | 第27页 |
| 1.4.2 平面大量离散点数据的拟合方法研究现状 | 第27-29页 |
| 1.5 快速定位的运动方法研究现状 | 第29-31页 |
| 1.6 本研究领域存在的科学问题和关键技术问题 | 第31-32页 |
| 1.7 本文的主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第2章 并联柔顺机构的柔度分析与晶圆交接位姿解算 | 第34-61页 |
| 2.1 引言 | 第34页 |
| 2.2 并联柔顺机构的整体柔度模型 | 第34-42页 |
| 2.2.1 并联柔顺机构结构分析 | 第34-37页 |
| 2.2.2 并联柔顺机构整体柔度矩阵模型的建立 | 第37-42页 |
| 2.3 并联柔顺机构的柔度分析 | 第42-50页 |
| 2.3.1 特征旋量法分解空间柔度矩阵 | 第42-46页 |
| 2.3.2 并联柔顺机构结构参数的影响分析与优化 | 第46-50页 |
| 2.4 并联柔顺机构晶圆交接位姿解算 | 第50-60页 |
| 2.4.1 柔度矩阵位姿求解 | 第51页 |
| 2.4.2 共面平衡位姿解算 | 第51-55页 |
| 2.4.3 晶圆交接位姿解算的数值仿真分析 | 第55-60页 |
| 2.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第3章 交接面的最小区域法拟合研究 | 第61-77页 |
| 3.1 引言 | 第61-62页 |
| 3.2 最小区域平面拟合模型 | 第62-65页 |
| 3.2.1 最小区域平面拟合数学模型 | 第62-63页 |
| 3.2.2 最小区域平面拟合几何特征点模型 | 第63-65页 |
| 3.3 逐步缩小约束区域的凸壳投影最小区域平面拟合方法 | 第65-73页 |
| 3.3.1 逐步缩小约束区域 | 第65-68页 |
| 3.3.2 凸壳棱边投影 | 第68-71页 |
| 3.3.3 逐步缩小约束区域的凸壳投影法计算流程与复杂度分析 | 第71-73页 |
| 3.4 多种典型最小区域平面拟合方法的分析比较 | 第73-76页 |
| 3.5 本章小结 | 第76-77页 |
| 第4章 晶圆快速高精度交接方法研究 | 第77-94页 |
| 4.1 引言 | 第77-78页 |
| 4.2 晶圆交接运动模型 | 第78-79页 |
| 4.3 晶圆交接方法研究 | 第79-88页 |
| 4.3.1 数字PID方法 | 第81-82页 |
| 4.3.2 无振荡最小拍方法 | 第82-83页 |
| 4.3.3 零相位误差跟踪和限幅的最小拍方法 | 第83-88页 |
| 4.4 晶圆交接方法的仿真分析 | 第88-92页 |
| 4.4.1 幅值约束下的系统控制量 | 第88-89页 |
| 4.4.2 随机干扰下的系统阶跃响应 | 第89-91页 |
| 4.4.3 正弦输入下系统的跟踪性能 | 第91-92页 |
| 4.5 本章小结 | 第92-94页 |
| 第5章 并联柔顺机构晶圆交接实验研究 | 第94-110页 |
| 5.1 引言 | 第94页 |
| 5.2 并联柔顺机构及晶圆交接实验平台 | 第94-98页 |
| 5.3 交接面的测量实验及最小区域平面拟合 | 第98-101页 |
| 5.4 晶圆交接位姿测量实验 | 第101-104页 |
| 5.5 并联柔顺机构性能实验 | 第104-107页 |
| 5.5.1 分辨力测试 | 第104-105页 |
| 5.5.2 阶跃响应测试 | 第105-107页 |
| 5.6 并联柔顺机构晶圆交接吸附实验 | 第107-109页 |
| 5.7 本章小结 | 第109-110页 |
| 结论 | 第110-113页 |
| 参考文献 | 第113-122页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第122-124页 |
| 致谢 | 第124-125页 |
| 个人简历 | 第125页 |