微悬臂梁的冲击、静电和阻尼研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-14页 |
| ·选题背景和意义 | 第10-11页 |
| ·研究现状 | 第11-12页 |
| ·MEMS 冲击研究现状 | 第11页 |
| ·MEMS 静电驱动研究现状 | 第11-12页 |
| ·压膜阻尼的研究现状 | 第12页 |
| ·研究内容 | 第12页 |
| ·论文框架 | 第12-14页 |
| 2 MEMS 中的建模方法 | 第14-28页 |
| ·集总参数建模 | 第14-22页 |
| ·微结构的刚度 | 第15-18页 |
| ·解析法推导微悬臂梁的刚度 | 第18-21页 |
| ·微悬臂梁的等效质量 | 第21-22页 |
| ·微悬臂梁的弹簧-质量模型 | 第22页 |
| ·微悬臂梁的分布参数建模 | 第22-26页 |
| ·线性运动方程 | 第22-23页 |
| ·边界条件 | 第23-24页 |
| ·微悬臂梁的静态响应 | 第24-25页 |
| ·自然频率和振型 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 3 冲击对微悬臂梁的作用 | 第28-41页 |
| ·微悬臂梁受到冲击作用 | 第28-32页 |
| ·冲击的集总参数模型 | 第28-29页 |
| ·冲击的分布参数模型 | 第29-30页 |
| ·微悬臂梁冲击响应算例 | 第30-32页 |
| ·PCB 对冲击的影响 | 第32-40页 |
| ·集总参数建模：双自由度模型 | 第32-35页 |
| ·分布参数模型 | 第35-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 静电和冲击对微悬臂梁的作用 | 第41-52页 |
| ·微悬臂梁受到静电作用 | 第41-44页 |
| ·单自由度模型 | 第41-42页 |
| ·分布参数模型 | 第42-44页 |
| ·微悬臂梁静电响应算例 | 第44页 |
| ·有限元分析 | 第44-48页 |
| ·模型定义 | 第45-46页 |
| ·网格划分 | 第46-47页 |
| ·计算求解 | 第47-48页 |
| ·微悬臂梁受到静电力和冲击力的共同作用 | 第48-51页 |
| ·数学模型 | 第49页 |
| ·实例计算及分析 | 第49-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 5 压膜阻尼效应 | 第52-69页 |
| ·能量损耗机理 | 第52-53页 |
| ·气体阻尼基础 | 第53-54页 |
| ·压膜阻尼 | 第54-55页 |
| ·压膜阻尼的模型 | 第55-65页 |
| ·可压缩气体模型 | 第56-58页 |
| ·不可压缩气体模型 | 第58-60页 |
| ·具体模型算例 | 第60-65页 |
| ·压膜阻尼的有限元仿真 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 6 总结与展望 | 第69-71页 |
| ·总结 | 第69-70页 |
| ·不足与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
