| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-13页 |
| ·课题研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·石墨烯晶体管内外研究现状 | 第10-12页 |
| ·本文主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 石墨烯基本电学特性 | 第13-15页 |
| ·石墨烯电学特性 | 第13页 |
| ·石墨烯禁带宽度调制机理 | 第13-14页 |
| ·静电场对石墨烯载流子的调制机理 | 第14-15页 |
| 第三章 石墨烯场效应晶体管设计 | 第15-23页 |
| ·石墨烯场效应晶体管整体结构设计 | 第15-16页 |
| ·顶栅结构的石墨烯场效应晶体管设计 | 第16-18页 |
| ·背栅结构的石墨烯场效应晶体管设计 | 第18-20页 |
| ·掩模版设计 | 第20-23页 |
| 第四章 石墨烯场效应晶体管加工制备 | 第23-30页 |
| ·石墨烯场效应晶体管整体工艺简要介绍 | 第23页 |
| ·石墨烯薄膜台面刻蚀工艺 | 第23-24页 |
| ·石墨烯场效应晶体管的栅/源/漏电极制作 | 第24-26页 |
| ·石墨烯场效应晶体管栅介质层制作 | 第26-27页 |
| ·石墨烯场效应晶体管源/漏电极的 Al2O3层腐蚀 | 第27-28页 |
| ·凹槽结构的前期工艺研究 | 第28-30页 |
| 第五章 石墨烯场效应晶体管测试及优化设计 | 第30-46页 |
| ·石墨烯场效应晶体管的基本电学特性测试 | 第30-33页 |
| ·石墨烯导电沟道光电测试 | 第33-34页 |
| ·石墨烯导电沟道的温度效应测试 | 第34-35页 |
| ·石墨烯场效应晶体管的稳定性测试 | 第35-37页 |
| ·I-V 曲线随时间的变化 | 第36-37页 |
| ·石墨烯场效应晶体管的优化设计 | 第37-46页 |
| ·顶栅结构和背栅结构的石墨烯场效应晶体管的比较 | 第37-38页 |
| ·石墨烯场效应晶体管的结构优化设计 | 第38-46页 |
| 第六章 总结与展望 | 第46-48页 |
| ·本论文主要工作总结 | 第46-47页 |
| ·工作展望 | 第47-48页 |
| 参考文献 | 第48-51页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第51-52页 |
| 致谢 | 第52-53页 |