高效率的微器件自动装配技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 插图目录 | 第11-14页 |
| 列表目录 | 第14-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-27页 |
| ·微操纵和微装配对于微制造的意义 | 第15-20页 |
| ·传统加工手段的局限 | 第15-16页 |
| ·利用微装配技术获得复杂的三维结构 | 第16-17页 |
| ·三维微结构的其它实现手段 | 第17-20页 |
| ·微装配技术的研究现状 | 第20-23页 |
| ·通用微装配系统 | 第20-22页 |
| ·专用微装配系统 | 第22-23页 |
| ·自组装技术 | 第23页 |
| ·本课题的研究目标 | 第23-25页 |
| ·论文的主要内容及结构 | 第25-27页 |
| 第二章 实验参数对微操纵效率的影响 | 第27-54页 |
| ·微尺度下的主要作用力随参数的变化 | 第27-35页 |
| ·微尺度下的作用力概述 | 第27-28页 |
| ·范德华力 | 第28-30页 |
| ·表面张力 | 第30-33页 |
| ·静电力 | 第33-35页 |
| ·其它作用力 | 第35页 |
| ·用粘附型微操作器实现物体操纵 | 第35-43页 |
| ·粘附型微操作器的制作 | 第35-38页 |
| ·利用粘附力进行微操作的力学模型 | 第38-42页 |
| ·利用粘附力进行微器件操纵实验 | 第42-43页 |
| ·实验参数影响操纵效率的定量研究 | 第43-54页 |
| ·研究实验参数影响微操纵效率的意义 | 第43-45页 |
| ·实验装置和微操纵效率定义 | 第45-46页 |
| ·不同实验参数下的微操纵实验 | 第46-48页 |
| ·实验参数影响微操纵效率的实验结论 | 第48-53页 |
| ·对本实验结论的推广 | 第53-54页 |
| 第三章 适合自动操作的微操作器的开发和实验 | 第54-71页 |
| ·微操作器的结构 | 第54-58页 |
| ·操作原理和驱动器选择 | 第54-57页 |
| ·微操作器的结构设计 | 第57-58页 |
| ·微操作器的驱动电源设计 | 第58-60页 |
| ·微操作器的位移——电压特性 | 第60-62页 |
| ·微操作器的控制 | 第62-66页 |
| ·微操作器的视频反馈位移控制方法 | 第62-65页 |
| ·夹持力控制 | 第65-66页 |
| ·微操作器的应用 | 第66-71页 |
| ·用微操作器操纵微小器件 | 第66-67页 |
| ·释放器件的位置误差分析 | 第67-71页 |
| 第四章 自动微装配系统中的视觉伺服关键技术研究 | 第71-100页 |
| ·视觉伺服系统结构 | 第71-73页 |
| ·系统硬件结构 | 第71-72页 |
| ·软件系统结构 | 第72-73页 |
| ·显微视觉自聚焦技术 | 第73-78页 |
| ·焦距评价函数选取 | 第73-77页 |
| ·搜索方法 | 第77-78页 |
| ·微器件的识别与定位 | 第78-89页 |
| ·视觉图像预处理 | 第78-83页 |
| ·基于灰度的目标识别 | 第83-85页 |
| ·基于特征的目标识别 | 第85-88页 |
| ·亚像素级目标定位 | 第88-89页 |
| ·摄像机自定标技术 | 第89-100页 |
| ·现有摄像机定标技术在微操作系统中的适用性分析 | 第89-90页 |
| ·显微摄像系统的几何模型 | 第90-92页 |
| ·参数求解 | 第92-96页 |
| ·自动定标实验 | 第96-100页 |
| 第五章 环境可控的自动微装配系统及操作控制 | 第100-111页 |
| ·自动微器件装配系统结构 | 第100-105页 |
| ·自动微器件装配的意义 | 第100-101页 |
| ·系统整体结构 | 第101页 |
| ·环境参数控制系统 | 第101-103页 |
| ·微器件自动装配系统 | 第103-105页 |
| ·微装配系统的控制 | 第105-111页 |
| ·移动工作台的PID控制 | 第105-107页 |
| ·微器件装配的路径选择 | 第107-109页 |
| ·自动微器件装配实验 | 第109-111页 |
| 第六章 总结与展望 | 第111-114页 |
| ·本文总结和展望 | 第111-113页 |
| ·木论文的创新之处 | 第113-114页 |
| 参考文献 | 第114-123页 |
| 攻读博士学位期间发表的文章 | 第123-124页 |
| 致谢 | 第124页 |
