| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-17页 |
| ·课题背景及意义 | 第13-14页 |
| ·国内外研究状况 | 第14-15页 |
| ·国内产品简介 | 第15页 |
| ·国外产品简介 | 第15页 |
| ·研究主要内容 | 第15-16页 |
| ·论文组成与研究创新 | 第16页 |
| ·本章小结 | 第16-17页 |
| 第2章 测试仪工作原理 | 第17-27页 |
| ·半导体材料导电类型判定的基本概念 | 第17-19页 |
| ·半导体材料导电类型判断原理 | 第17-19页 |
| ·电阻率测量的基本概念 | 第19-22页 |
| ·几种常见的直流四探针电阻率测量方法 | 第20-22页 |
| ·双电测组合法 | 第22-26页 |
| ·样片无穷大,探针头处在某一位置 | 第23页 |
| ·小样片 | 第23-25页 |
| ·双电测组合四探针法测方块电阻突出优点 | 第25页 |
| ·测量体电阻率 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 系统硬件设计 | 第27-49页 |
| ·概述 | 第27-29页 |
| ·设计特点 | 第27页 |
| ·硬件模块的划分 | 第27-28页 |
| ·工作流程 | 第28-29页 |
| ·控制逻辑、A/D转换及D/A转换电路的设计 | 第29-30页 |
| ·控制逻辑、A/D转换及D/A转换电路的方案比较与论证 | 第29-30页 |
| ·SPCE061A单片机简介 | 第30-33页 |
| ·μ'nSP~(TM)家族有以下特点 | 第30-31页 |
| ·μ'nSP~(TM)性能 | 第31-32页 |
| ·结构概览 | 第32-33页 |
| ·开关控制电路的设计 | 第33-36页 |
| ·开关控制单元电路方案比较与论证 | 第34-36页 |
| ·放大电路的设计 | 第36-39页 |
| ·放大电路方案比较与论证 | 第36-39页 |
| ·恒流源电路设计 | 第39-42页 |
| ·恒流源电路的设计 | 第39页 |
| ·恒流源电路的仿真 | 第39-42页 |
| ·显示电路的设计 | 第42-44页 |
| ·显示电路方案比较与论证 | 第42-44页 |
| ·键盘电路的设计 | 第44页 |
| ·比较电路设计 | 第44-45页 |
| ·电源电路设计 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第4章 系统软件设计 | 第49-58页 |
| ·μ'nSP~(TM)微处理器SPCE061A集成开发环境IDE介绍 | 第49-50页 |
| ·系统软件模块划分 | 第50页 |
| ·主要软件模块设计 | 第50-57页 |
| ·显示驱动程序 | 第51-56页 |
| ·键盘程序 | 第56-57页 |
| ·电压采样与恒流源电路控制程序 | 第57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 测量精确度分析 | 第58-65页 |
| ·双位组合四探针法测准条件 | 第58-60页 |
| ·硬件—冗余通道法减少系统误差 | 第60-62页 |
| ·系统误差仿真结果 | 第61-62页 |
| ·软件—平均值滤波法 | 第62-63页 |
| ·可靠性的设计 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 结论 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 附录A(攻读学位期间所发表的学术论文) | 第69-70页 |
| 附录B 实际电路原理图 | 第70-75页 |
| 附录C PCB版图 | 第75-76页 |
| 附录D 实物面板图 | 第76页 |