| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第10-15页 |
| 1.2.1 光刻机及其换台技术发展现状 | 第10-13页 |
| 1.2.2 输入整形技术的发展现状 | 第13-14页 |
| 1.2.3 同步控制策略的发展现状 | 第14-15页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第15-17页 |
| 第2章 公自转换台系统介绍 | 第17-31页 |
| 2.1 引言 | 第17页 |
| 2.2 光刻机结构以及功能介绍 | 第17-18页 |
| 2.3 公自转系统的结构分析 | 第18-22页 |
| 2.3.1 双工件台整体结构分析 | 第18-21页 |
| 2.3.2 公自转结构分析 | 第21-22页 |
| 2.4 工件台换台轨迹分析与换台步骤规划 | 第22-28页 |
| 2.4.1 公自转系统的运动轨迹规划 | 第22-23页 |
| 2.4.2 双工件台换台步骤规划 | 第23-28页 |
| 2.5 双工件台公自转换台出现的问题分析 | 第28-30页 |
| 2.5.1 公自转换台同步问题分析 | 第28-29页 |
| 2.5.2 公转电机定位残留振荡问题分析 | 第29-30页 |
| 2.6 小结 | 第30-31页 |
| 第3章 公转电机的输入整形器设计与仿真 | 第31-49页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 输入整形简介 | 第31-33页 |
| 3.2.1 输入整形的基本原理 | 第31-33页 |
| 3.3 输入整形器设计方法分析 | 第33-36页 |
| 3.3.1 零极点对消法 | 第33-36页 |
| 3.3.2 联立约束方程法 | 第36页 |
| 3.4 ZV和ZVD输入整形器的参数设计与仿真验证 | 第36-41页 |
| 3.4.1 ZV输入整形器的设计与仿真 | 第36-38页 |
| 3.4.2 ZVD输入整形器的设计与仿真 | 第38-41页 |
| 3.5 基于粒子群算法的整形器参数优化 | 第41-48页 |
| 3.5.1 粒子群优化算法简介 | 第41-42页 |
| 3.5.2 基于粒子群优化算法的输入整形器设计分析与仿真 | 第42-48页 |
| 3.6 小结 | 第48-49页 |
| 第4章 基于模型预测控制的双工件台同步控制设计 | 第49-62页 |
| 4.1 引言 | 第49页 |
| 4.2 同步控制策略的简介 | 第49-51页 |
| 4.2.1 并行方式 | 第49页 |
| 4.2.2 主从方式 | 第49-50页 |
| 4.2.3 交叉耦合同步控制 | 第50-51页 |
| 4.3 模型预测控制 | 第51-56页 |
| 4.3.1 模型预测控制简介 | 第51-52页 |
| 4.3.2 动态矩阵控制理论 | 第52-56页 |
| 4.4 基于动态矩阵控制的同步控制器的设计与仿真 | 第56-61页 |
| 4.4.1 模型预测控制系统仿真 | 第56-58页 |
| 4.4.2 基于动态矩阵控制的同步控制器设计与仿真 | 第58-61页 |
| 4.5 小结 | 第61-62页 |
| 第5章 改进的模型预测同步控制器的设计与实验 | 第62-75页 |
| 5.1 引言 | 第62页 |
| 5.2 偏差耦合同步控制器的设计与仿真验证 | 第62-66页 |
| 5.2.1 偏差耦合同步控制器的设计 | 第62-63页 |
| 5.2.2 偏差耦合同步控制器的仿真 | 第63-66页 |
| 5.3 公自转换台同步控制系统的搭建与程序设计 | 第66-71页 |
| 5.3.1 公自转换台同步控制系统的搭建 | 第66-68页 |
| 5.3.2 运动控制卡程序设计 | 第68-71页 |
| 5.4 公自转换台控制实验 | 第71-74页 |
| 5.4.1 公转电机抑制残留振荡实验 | 第71-72页 |
| 5.4.2 公自转换台同步控制实验 | 第72-74页 |
| 5.5 小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82页 |
