成品率估计与提升技术研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·成品率估计与提升技术的研究意义 | 第7-8页 |
| ·成品率估计与提升技术的研究现状 | 第8-10页 |
| ·论文的内容和安排 | 第10-13页 |
| 第二章 工艺缺陷模型 | 第13-23页 |
| ·冗余物缺陷 | 第13-15页 |
| ·丢失物缺陷 | 第15-17页 |
| ·氧化物针孔缺陷和结泄漏缺陷 | 第17-18页 |
| ·缺陷的粒径分布及轮廓模型 | 第18-21页 |
| ·缺陷的粒径分布 | 第18-20页 |
| ·缺陷的轮廓模型 | 第20-21页 |
| ·本章小结 | 第21-23页 |
| 第三章 版图布线优化位置的提取 | 第23-45页 |
| ·功能成品率模型 | 第23-25页 |
| ·关键面积计算模型 | 第25-31页 |
| ·开路关键面积基础模型 | 第26-29页 |
| ·短路关键面积基础模型 | 第29-30页 |
| ·关键面积计算的改进模型 | 第30-31页 |
| ·考虑缺陷特征分布的关键面积计算模型 | 第31-32页 |
| ·版图布线优化位置的提取 | 第32-43页 |
| ·基于短路关键面积的优化位置提取 | 第32-40页 |
| ·基于开路关键面积的优化位置提取 | 第40-43页 |
| ·本章小结 | 第43-45页 |
| 第四章 基于版图布线优化设计的成品率提升技术 | 第45-55页 |
| ·缩小短路关键面积的方法研究 | 第45-48页 |
| ·缩小开路关键面积的方法研究 | 第48-50页 |
| ·线性规划方法介绍 | 第50-51页 |
| ·基于线性规划的关键面积最小化方法 | 第51-53页 |
| ·版图布线形状分析 | 第51页 |
| ·候选优化布线的选取 | 第51-52页 |
| ·最小化计算 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 成品率估计与提升技术的应用研究 | 第55-81页 |
| ·成品率估计与提升系统软件功能的基本框架 | 第55-56页 |
| ·软件功能的介绍 | 第56-58页 |
| ·缺陷表征 | 第56页 |
| ·关键面积计算 | 第56-57页 |
| ·成品率估计 | 第57页 |
| ·成品率优化 | 第57-58页 |
| ·成品率估计与提升应用系统的实现 | 第58-77页 |
| ·图形用户界面概述 | 第58-59页 |
| ·界面开发过程 | 第59-77页 |
| ·软件的集成与发布 | 第77-79页 |
| ·本章小结 | 第79-81页 |
| 第六章 结束语 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-89页 |
| 读硕士学位期间的研究成果 | 第89页 |
