| 致谢 | 第4-5页 |
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-27页 |
| 1.1 引言 | 第12-13页 |
| 1.2 探针台用途及关键技术难点分析 | 第13-16页 |
| 1.2.1 探针台用途 | 第13-14页 |
| 1.2.2 探针台关键技术难点分析 | 第14-16页 |
| 1.3 探针台国内外现状及发展趋势 | 第16-20页 |
| 1.3.1 探针台国外研究进展阐述 | 第17-18页 |
| 1.3.2 探针台国内研究进展 | 第18-20页 |
| 1.3.3 探针台未来发展趋势 | 第20页 |
| 1.4 本文主要研究背景及意义 | 第20-23页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第20-22页 |
| 1.4.2 研究意义 | 第22-23页 |
| 1.5 本文主要研究内容及结构框架 | 第23-27页 |
| 1.5.1 研究内容 | 第23-24页 |
| 1.5.2 本文框架 | 第24-27页 |
| 第2章 探针台关键模块结构及精准控制要求 | 第27-39页 |
| 2.1 引言 | 第27页 |
| 2.2 探针台整体结构及工作流程 | 第27-31页 |
| 2.2.1 探针台整体结构 | 第27-29页 |
| 2.2.2 探针台工作流程 | 第29-31页 |
| 2.3 关键模块结构和动作流程 | 第31-36页 |
| 2.3.1 预对位模块结构和动作流程 | 第31-33页 |
| 2.3.2 Z轴升降机构及控制流程 | 第33-35页 |
| 2.3.3 X-Y平台结构及控制流程 | 第35-36页 |
| 2.4 关键模块的精准控制要求 | 第36-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第3章 晶圆精准预对位技术 | 第39-59页 |
| 3.1 引言 | 第39-40页 |
| 3.2 预对位装置控制系统设计 | 第40-41页 |
| 3.3 预对位步进电机精准控制技术 | 第41-48页 |
| 3.3.1 步进电机细分驱动技术 | 第41-45页 |
| 3.3.2 步距角均匀化方法 | 第45-48页 |
| 3.4 晶圆预对位检测定位算法 | 第48-56页 |
| 3.4.1 晶圆圆心四点定位算法 | 第49-50页 |
| 3.4.2 晶圆圆心最小二乘拟合圆线性无偏估计算法 | 第50-53页 |
| 3.4.3 晶圆旋转补偿角分析 | 第53-56页 |
| 3.5 预对位实验结果分析 | 第56-58页 |
| 3.6 本章小结 | 第58-59页 |
| 第4章 探针与晶圆微变形接触精准控制技术 | 第59-73页 |
| 4.1 引言 | 第59-60页 |
| 4.2 探针与晶圆片微变形情况分析 | 第60-62页 |
| 4.2.1 晶圆片升降运动控制系统设计 | 第60-61页 |
| 4.2.2 探针微变形机理分析 | 第61-62页 |
| 4.3 微接触变形的力学分析 | 第62-69页 |
| 4.3.1 微变形运动的速度模式选择 | 第62-64页 |
| 4.3.2 微变形运动顶升力与变形量的关系分析 | 第64-67页 |
| 4.3.3 步进电机输出电压与顶升力关系实验拟合 | 第67-69页 |
| 4.4 微接触变形的重复定位精度分析 | 第69-72页 |
| 4.4.1 微接触变形的重复定位精度评价标准 | 第69页 |
| 4.4.2 重复定位精度测试方法论证 | 第69-71页 |
| 4.4.3 基于影响因素分离法的重复定位精度分析 | 第71-72页 |
| 4.5 本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 晶圆MAP图反馈的XY平台精准控制 | 第73-85页 |
| 5.1 引言 | 第73-74页 |
| 5.2 X-Y平台控制系统设计 | 第74-75页 |
| 5.3 MAP图生成算法优化 | 第75-82页 |
| 5.3.1 晶圆扫描方案分析 | 第75-79页 |
| 5.3.2 基于传统网格的MAP图生成算法 | 第79-80页 |
| 5.3.3 基于动态阈值的MAP图生成算法 | 第80-82页 |
| 5.4 MAP图反馈XY平台精度分析 | 第82-84页 |
| 5.5 本章小结 | 第84-85页 |
| 第6章 基于CAN总线的探针台精准控制系统实现 | 第85-95页 |
| 6.1 引言 | 第85-86页 |
| 6.2 CAN总线技术分析 | 第86-88页 |
| 6.2.1 CAN总线简介 | 第86-87页 |
| 6.2.2 CAN总线通信协议 | 第87-88页 |
| 6.3 探针台控制系统设计 | 第88-92页 |
| 6.3.1 基于CAN总线的探针台系统架构 | 第88-89页 |
| 6.3.2 关键模块CAN节点软硬件实现 | 第89-92页 |
| 6.4 CAN总线实现高精准控制的实验研究 | 第92-94页 |
| 6.4.1 CAN节点高精度控制预对位模块的实验研究 | 第92-93页 |
| 6.4.2 CAN节点高精度控制Z轴升降模块的实验研究 | 第93-94页 |
| 6.5 本章小结 | 第94-95页 |
| 第7章 总结与展望 | 第95-98页 |
| 7.1 结论 | 第95-96页 |
| 7.2 展望 | 第96-98页 |
| 参考文献 | 第98-102页 |
