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刻蚀演化仿真及关键参数优化

摘要第3-4页
Abstract第4-5页
主要符号对照表第8-9页
第1章 引言第9-20页
    1.1 研究背景及意义第9-10页
    1.2 刻蚀演化仿真方法第10-14页
        1.2.1 线算法第10-12页
        1.2.2 元胞自动机方法第12-13页
        1.2.3 蒙特卡洛方法第13页
        1.2.4 分子动力学方法第13-14页
    1.3 仿真优化算法第14-18页
        1.3.1 序优化方法第15-17页
        1.3.2 禁忌搜索算法第17-18页
    1.4 论文内容简介第18-20页
第2章 基于线算法和分子动力学的二维刻蚀演化仿真第20-31页
    2.1 引言第20页
    2.2 模型表示与算法框架第20-22页
    2.3 基于线算法的宏观剖面演化第22-25页
        2.3.1 表面节点的动态调节第22-23页
        2.3.2 表面成环现象及去环方法第23-24页
        2.3.3 刻蚀率插值算法第24-25页
    2.4 基于分子动力学的微观仿真第25-27页
        2.4.1 势函数模型第25-27页
        2.4.2 并行加速第27页
    2.5 实验结果和讨论第27-29页
        2.5.1 与实验结果的对比第27-29页
        2.5.2 并行计算性能分析第29页
    2.6 本章小结第29-31页
第3章 基于元胞自动机的三维刻蚀演化仿真第31-52页
    3.1 引言第31页
    3.2 三维元胞自动机刻蚀模型第31-36页
        3.2.1 模型压缩表示方法第33-34页
        3.2.2 模型表面元胞的判定第34-36页
    3.3 基于蒙特卡洛的粒子产生方法第36-40页
        3.3.1 伪随机数生成算法第37-39页
        3.3.2 线性查找和二叉树查找第39-40页
    3.4 粒子运动路径计算第40-42页
    3.5 粒子与刻蚀表面之间的相互作用第42-47页
        3.5.1 表面法向量计算第42-44页
        3.5.2 粒子反射计算第44-46页
        3.5.3 刻蚀产额计算第46-47页
    3.6 实验结果和讨论第47-51页
        3.6.1 模型压缩测试第47-48页
        3.6.2 伪随机数生成算法测试第48-49页
        3.6.3 演化结果分析第49-51页
    3.7 本章小结第51-52页
第4章 基于序优化和禁忌搜索的刻蚀产额参数优化方法第52-61页
    4.1 引言第52页
    4.2 优化问题第52-56页
        4.2.1 刻蚀产额参数模型第52-54页
        4.2.2 适应度函数定义第54-56页
    4.3 算法描述第56-57页
    4.4 实验结果和讨论第57-60页
        4.4.1 刻蚀结果对比第57-59页
        4.4.2 算法性能对比第59-60页
    4.5 本章小结第60-61页
第5章 工作总结和展望第61-63页
    5.1 工作总结第61页
    5.2 工作展望第61-63页
参考文献第63-66页
致谢第66-68页
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果第68页

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