| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 主要符号对照表 | 第8-9页 |
| 第1章 引言 | 第9-20页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第9-10页 |
| 1.2 刻蚀演化仿真方法 | 第10-14页 |
| 1.2.1 线算法 | 第10-12页 |
| 1.2.2 元胞自动机方法 | 第12-13页 |
| 1.2.3 蒙特卡洛方法 | 第13页 |
| 1.2.4 分子动力学方法 | 第13-14页 |
| 1.3 仿真优化算法 | 第14-18页 |
| 1.3.1 序优化方法 | 第15-17页 |
| 1.3.2 禁忌搜索算法 | 第17-18页 |
| 1.4 论文内容简介 | 第18-20页 |
| 第2章 基于线算法和分子动力学的二维刻蚀演化仿真 | 第20-31页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 模型表示与算法框架 | 第20-22页 |
| 2.3 基于线算法的宏观剖面演化 | 第22-25页 |
| 2.3.1 表面节点的动态调节 | 第22-23页 |
| 2.3.2 表面成环现象及去环方法 | 第23-24页 |
| 2.3.3 刻蚀率插值算法 | 第24-25页 |
| 2.4 基于分子动力学的微观仿真 | 第25-27页 |
| 2.4.1 势函数模型 | 第25-27页 |
| 2.4.2 并行加速 | 第27页 |
| 2.5 实验结果和讨论 | 第27-29页 |
| 2.5.1 与实验结果的对比 | 第27-29页 |
| 2.5.2 并行计算性能分析 | 第29页 |
| 2.6 本章小结 | 第29-31页 |
| 第3章 基于元胞自动机的三维刻蚀演化仿真 | 第31-52页 |
| 3.1 引言 | 第31页 |
| 3.2 三维元胞自动机刻蚀模型 | 第31-36页 |
| 3.2.1 模型压缩表示方法 | 第33-34页 |
| 3.2.2 模型表面元胞的判定 | 第34-36页 |
| 3.3 基于蒙特卡洛的粒子产生方法 | 第36-40页 |
| 3.3.1 伪随机数生成算法 | 第37-39页 |
| 3.3.2 线性查找和二叉树查找 | 第39-40页 |
| 3.4 粒子运动路径计算 | 第40-42页 |
| 3.5 粒子与刻蚀表面之间的相互作用 | 第42-47页 |
| 3.5.1 表面法向量计算 | 第42-44页 |
| 3.5.2 粒子反射计算 | 第44-46页 |
| 3.5.3 刻蚀产额计算 | 第46-47页 |
| 3.6 实验结果和讨论 | 第47-51页 |
| 3.6.1 模型压缩测试 | 第47-48页 |
| 3.6.2 伪随机数生成算法测试 | 第48-49页 |
| 3.6.3 演化结果分析 | 第49-51页 |
| 3.7 本章小结 | 第51-52页 |
| 第4章 基于序优化和禁忌搜索的刻蚀产额参数优化方法 | 第52-61页 |
| 4.1 引言 | 第52页 |
| 4.2 优化问题 | 第52-56页 |
| 4.2.1 刻蚀产额参数模型 | 第52-54页 |
| 4.2.2 适应度函数定义 | 第54-56页 |
| 4.3 算法描述 | 第56-57页 |
| 4.4 实验结果和讨论 | 第57-60页 |
| 4.4.1 刻蚀结果对比 | 第57-59页 |
| 4.4.2 算法性能对比 | 第59-60页 |
| 4.5 本章小结 | 第60-61页 |
| 第5章 工作总结和展望 | 第61-63页 |
| 5.1 工作总结 | 第61页 |
| 5.2 工作展望 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 致谢 | 第66-68页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第68页 |