铜引线热超声键合中硅基板应力状态的数值研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-24页 |
| ·课题背景和意义 | 第8-14页 |
| ·芯片封装技术 | 第8-9页 |
| ·引线热超声键合 | 第9-11页 |
| ·金引线键合的特点 | 第11-14页 |
| ·引线键合应力分析的国内外研究现状 | 第14-22页 |
| ·2D 有限元模型的构建 | 第15-19页 |
| ·3D 有限元模型的建立与分析 | 第19-22页 |
| ·主要研究内容 | 第22-24页 |
| 第2章 铜引线键合有限元模型的建立 | 第24-37页 |
| ·3D“热-力-超声”增量耦合有限元模型建立 | 第24-29页 |
| ·几何模型 | 第24-25页 |
| ·材料性能 | 第25-27页 |
| ·接触模型 | 第27页 |
| ·振动加载 | 第27-29页 |
| ·键合温度 | 第29页 |
| ·模型结果的试验验证 | 第29-33页 |
| ·试验设备 | 第29-31页 |
| ·试验参数 | 第31-32页 |
| ·结果验证 | 第32-33页 |
| ·键合温度参数对基板应力状态的影响 | 第33-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第3章 引线材料对硅基板内应力状态的影响 | 第37-51页 |
| ·有限元模型与材料性能 | 第37-38页 |
| ·不同引线材料对基板内应力状态的影响 | 第38-49页 |
| ·硅基板各应力分量分布结果 | 第38-39页 |
| ·不同引线条件下的硅基板内应力变化历史 | 第39-44页 |
| ·下压高度与应力集中位置的关系 | 第44-49页 |
| ·模拟结果的试验验证 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 第4章 镀层材料对硅基板内应力状态的影响 | 第51-62页 |
| ·镀层材料性能 | 第51-52页 |
| ·不同镀层材料对基板内应力状态的影响 | 第52-60页 |
| ·硅基板内应力分量分布 | 第52-56页 |
| ·不同镀层条件下的硅基板内应力变化历史 | 第56-59页 |
| ·下压高度与应力集中位置的关系 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-62页 |
| 第5章 镀层厚度对硅基板应力状态的影响 | 第62-72页 |
| ·材料性能参数 | 第62-63页 |
| ·不同镀层厚度对基板内应力状态的影响 | 第63-69页 |
| ·硅基板内应力分量分布 | 第63页 |
| ·不同镀层厚度条件下的硅基板内应力变化历史 | 第63-67页 |
| ·下压高度与应力集中位置的关系 | 第67-69页 |
| ·本章小结 | 第69-72页 |
| 第6章 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第80页 |