| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-18页 |
| ·选题背景及意义 | 第8-10页 |
| ·半导体晶圆制造概述 | 第10-11页 |
| ·立式氧化/扩散炉概述 | 第11-13页 |
| ·研究进展 | 第13-16页 |
| ·半导体制造系统建模方法 | 第13-15页 |
| ·半导体制造系统调度方法 | 第15-16页 |
| ·主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 立式氧化/扩散炉 Petri 网建模与分析 | 第18-46页 |
| ·面向对象 Petri 网 | 第18-19页 |
| ·对象 Petri 网 | 第19页 |
| ·信息传递关系网 | 第19页 |
| ·立式氧化/扩散炉的对象 Petri 网 | 第19-26页 |
| ·片架台对象 Petri 网 | 第20-23页 |
| ·机械手对象 Petri 网 | 第23-24页 |
| ·工艺管腔对象 Petri 网 | 第24-26页 |
| ·立式氧化/扩散炉的对象关系网 | 第26-40页 |
| ·片架台对象关系网 | 第28-31页 |
| ·机械手对象关系网 | 第31-35页 |
| ·工艺管腔对象关系网 | 第35-40页 |
| ·立式氧化/扩散炉的面向对象 Petri 网及其在控制软件开发中的应用 | 第40-42页 |
| ·立式氧化/扩散炉的调度 Petri 网 | 第42-45页 |
| ·立式氧化/扩散炉单机调度 Petri 网 | 第43-44页 |
| ·立式氧化/扩散炉多机调度 Petri 网 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第3章 立式氧化/扩散炉单机调度算法设计 | 第46-67页 |
| ·微粒群算法的基本原理 | 第46-48页 |
| ·立式氧化/扩散炉单机调度算法设计 | 第48-56页 |
| ·组批方法 | 第49-53页 |
| ·排序方法 | 第53-55页 |
| ·单机混合算法的框架 | 第55-56页 |
| ·数值仿真与分析 | 第56-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 第4章 立式氧化/扩散炉多机调度算法设计 | 第67-82页 |
| ·立式氧化/扩散炉多机调度算法设计 | 第67-71页 |
| ·分发方法 | 第69-71页 |
| ·多机混合算法的框架 | 第71页 |
| ·数值仿真与分析 | 第71-81页 |
| ·本章小结 | 第81-82页 |
| 第5章 立式氧化/扩散炉单机调度程序应用 | 第82-94页 |
| ·立式氧化/扩散炉控制系统 | 第82-83页 |
| ·立式氧化/扩散炉调度程序的应用实现 | 第83-90页 |
| ·调度程序在 CTC 的应用实现方案 | 第84-85页 |
| ·输入数据 | 第85-86页 |
| ·调度算法组件的创建及调用 | 第86-90页 |
| ·输出数据 | 第90页 |
| ·调度程序测试 | 第90-93页 |
| ·本章小结 | 第93-94页 |
| 第6章 结论与展望 | 第94-96页 |
| ·主要结论 | 第94-95页 |
| ·后续研究展望 | 第95-96页 |
| 参考文献 | 第96-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第101页 |