高加速度直线伺服系统的快速高精度定位控制
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·课题背景及意义 | 第11页 |
| ·芯片封装工艺简介 | 第11-13页 |
| ·芯片封装设备简介 | 第13-15页 |
| ·课题研究目标 | 第15页 |
| ·衡量指标 | 第15-16页 |
| ·国内外研究现状 | 第16-22页 |
| ·PID+补偿控制算法 | 第16-18页 |
| ·鲁棒算法 | 第18页 |
| ·自适应算法 | 第18-19页 |
| ·自适应鲁棒算法 | 第19页 |
| ·变结构算法 | 第19页 |
| ·重复学习算法 | 第19-20页 |
| ·其它算法 | 第20-22页 |
| ·研究内容 | 第22-25页 |
| 第二章 高加速度X-Y 定位平台 | 第25-41页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·高加速X-Y 定位平台介绍 | 第25-28页 |
| ·X-Y 定位平台结构 | 第26-27页 |
| ·驱动装置 | 第27-28页 |
| ·反馈装置 | 第28页 |
| ·运动平台的控制系统介绍 | 第28-33页 |
| ·RTX 和MFC 控制系统 | 第28-32页 |
| ·d-space 控制系统 | 第32-33页 |
| ·运动系统建模 | 第33-39页 |
| ·电机模型 | 第33-36页 |
| ·运动平台动力学模型 | 第36-37页 |
| ·模型参数确定 | 第37-39页 |
| ·本章小结 | 第39-41页 |
| 第三章 自适应鲁棒滑模控制器 | 第41-63页 |
| ·引言 | 第41-42页 |
| ·自适应算法 | 第42-45页 |
| ·概述 | 第42-43页 |
| ·一阶线性系统自适应控制 | 第43-44页 |
| ·一阶非线性系统自适应控制 | 第44-45页 |
| ·滑模控制算法 | 第45-47页 |
| ·滑模面 | 第45-46页 |
| ·滑模控制器 | 第46-47页 |
| ·自适应鲁棒滑模控制器（ARSC） | 第47-51页 |
| ·问题描述 | 第47-48页 |
| ·非线性投影 | 第48-49页 |
| ·自适应鲁棒滑模控制器设计 | 第49-50页 |
| ·性能分析 | 第50-51页 |
| ·实验 | 第51-60页 |
| ·X 轴实验 | 第52-56页 |
| ·Y 轴实验 | 第56-60页 |
| ·实验小结 | 第60页 |
| ·本章小结 | 第60-63页 |
| 第四章 重复学习变结构运动控制器 | 第63-77页 |
| ·引言 | 第63-64页 |
| ·高速运动阶段控制器设计 | 第64-66页 |
| ·bang-bang 控制器 | 第64页 |
| ·切换位置调整 | 第64-66页 |
| ·高精定位阶段控制器设计 | 第66-68页 |
| ·实验 | 第68-74页 |
| ·X 轴实验 | 第69-72页 |
| ·Y 轴实验 | 第72-74页 |
| ·本章小结 | 第74-77页 |
| 第五章 轨迹调整控制算法 | 第77-101页 |
| ·引言 | 第77页 |
| ·控制系统的级联控制结构 | 第77-79页 |
| ·重复学习控制算法（ILC） | 第79-81页 |
| ·P-type ILC | 第79-80页 |
| ·D-type ILC | 第80页 |
| ·A-type ILC | 第80-81页 |
| ·轨迹调整控制算法 | 第81-87页 |
| ·实验 | 第87-98页 |
| ·X 轴实验 | 第87-93页 |
| ·Y 轴实验 | 第93-97页 |
| ·实验小结 | 第97-98页 |
| ·本章小结 | 第98-101页 |
| 第六章 重复快速点到点运动控制 | 第101-123页 |
| ·引言 | 第101页 |
| ·P+A-ILC 控制器设计 | 第101-103页 |
| ·稳定性证明 | 第103-108页 |
| ·时域稳定性分析 | 第103-106页 |
| ·频域稳定性分析 | 第106-108页 |
| ·实验 | 第108-120页 |
| ·X-Y 定位平台控制器结构 | 第108-109页 |
| ·X 轴实验 | 第109-117页 |
| ·Y 轴实验 | 第117-119页 |
| ·实验小结 | 第119-120页 |
| ·本章小结 | 第120-123页 |
| 第七章 总结展望 | 第123-129页 |
| ·总结 | 第123-125页 |
| ·创新点 | 第125-126页 |
| ·展望 | 第126-129页 |
| 参考文献 | 第129-139页 |
| 致谢 | 第139-141页 |
| 攻读博士学位期间发表的学术论文 | 第141-143页 |
