RF MEMS开关封装技术的研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-6页
目录	第6-7页
第一章 绪论	第7-15页
·RF-MEMS的起源	第7页
·RF MEMS开关	第7-9页
·RF MEMS封装概述	第9-10页
·RF MEMS开关封装的作用	第10-11页
·RF MEMS开关封装设计要考虑的因素	第11-14页
·本论文研究的内容和意义	第14-15页
第二章 RF MEMS开关的电学模型	第15-24页
·RF MEMS开关概述	第15页
·DC接触式串联开关的电学模型	第15-20页
·MEMS电容并联式开关的电学模型	第20-23页
·小结	第23-24页
第三章 RF MEMS开关传统的封装工艺	第24-36页
·RF MEMS开关封装的基本要求:	第24页
·RF MEMS开关传统封装的过程	第24-36页
第四章 RF MEMS开关圆片级封装设计	第36-51页
·RF MEMS开关的圆片级封装	第36页
·几种先进的RF MEMS开关圆片级封装方案	第36-43页
·一种新提出的RF MEMS开关圆片级封装设计	第43-46页
·基于石英衬底引出的一种RF MEMS开关的封装	第46-51页
结论	第51-52页
致谢	第52-53页
参考文献	第53-54页