全自动精密划片机控制软件的研究与设计
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第14-22页 |
| 1.1 课题来源 | 第14页 |
| 1.2 研究背景及意义 | 第14-16页 |
| 1.2.1 半导体行业发展状况 | 第14页 |
| 1.2.2 划片机市场应用状况 | 第14-15页 |
| 1.2.3 C | 第15-16页 |
| 1.2.4 研究意义 | 第16页 |
| 1.3 划片机的发展过程 | 第16-17页 |
| 1.4 国内外研究现状 | 第17-21页 |
| 1.4.1 国内外划片机研究现状 | 第17-18页 |
| 1.4.2 国内外划片机控制软件研究现状 | 第18-20页 |
| 1.4.3 目前划片机系统软件问题 | 第20-21页 |
| 1.5 本文的主要工作 | 第21页 |
| 1.6 本章小结 | 第21-22页 |
| 第2章 划片机软件的总体设计 | 第22-32页 |
| 2.1 划片机的工作原理 | 第22-23页 |
| 2.2 划片机软件的需求分析 | 第23-25页 |
| 2.3 划片机软件的组成模块 | 第25-28页 |
| 2.4 划片机软件的界面设计 | 第28-30页 |
| 2.4.1 用户界面设计 | 第28-29页 |
| 2.4.2 操作面板设计 | 第29-30页 |
| 2.5 本章小结 | 第30-32页 |
| 第3章 数据管理与报警模块的分析与设计 | 第32-44页 |
| 3.1 C | 第32-33页 |
| 3.2 数据类的设计与实现 | 第33-36页 |
| 3.3 划切数据结构设计 | 第36-39页 |
| 3.3.1 划切方式 | 第36-38页 |
| 3.3.2 自动下降功能 | 第38-39页 |
| 3.4 报警类型 | 第39-42页 |
| 3.4.1 硬件报警 | 第39-41页 |
| 3.4.2 软件报警 | 第41页 |
| 3.4.3 系统报警 | 第41-42页 |
| 3.5 报警模块的设计 | 第42-43页 |
| 3.5.1 定时器的使用 | 第42-43页 |
| 3.5.2 报警应对方案设计 | 第43页 |
| 3.6 本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 运动控制模块的分析与设计 | 第44-57页 |
| 4.1 运动控制系统的组成 | 第44-47页 |
| 4.1.1 Pmac运动控制卡 | 第45-46页 |
| 4.1.2 各轴电机与驱动 | 第46-47页 |
| 4.2 Pmac卡的在线调试 | 第47-49页 |
| 4.3 Pmac运动模式的控制 | 第49-53页 |
| 4.3.1 Pmac与上位机软件通信 | 第49-50页 |
| 4.3.2 Pmac中各类运动指令 | 第50-53页 |
| 4.4 主轴运动的控制 | 第53-56页 |
| 4.4.1 串口通信方式的设置 | 第53-54页 |
| 4.4.2 主轴驱动串口通信协议 | 第54-55页 |
| 4.4.3 主轴状态的监测 | 第55-56页 |
| 4.5 本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 视觉识别模块的分析与设计 | 第57-69页 |
| 5.1 自动识别对准系统的组成 | 第57-58页 |
| 5.2 图像的预处理与坐标系的确立 | 第58-60页 |
| 5.2.1 图像的预处理 | 第58-59页 |
| 5.2.2 坐标系的确立 | 第59-60页 |
| 5.3 示教制作与自动识别方法的设计 | 第60-67页 |
| 5.3.1 示教制作 | 第60-64页 |
| 5.3.2 自动识别 | 第64-67页 |
| 5.4 自动对焦的实现 | 第67-68页 |
| 5.4.1 自动对焦原理 | 第67-68页 |
| 5.4.2 对焦搜索策略 | 第68页 |
| 5.5 本章小结 | 第68-69页 |
| 第6章 软件性能测试验证 | 第69-75页 |
| 6.1 切深实验验证 | 第69-71页 |
| 6.2 切割位置度和刀痕宽度实验验证 | 第71页 |
| 6.3 对焦与测高稳定性实验验证 | 第71-73页 |
| 6.4 实际生产过程设备运行稳定性 | 第73-74页 |
| 6.5 本章小结 | 第74-75页 |
| 结论与展望 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-81页 |
| 附录 A攻读学位期间参与的研究课题 | 第81-82页 |
| 附录 B在学期间取得的学术成果 | 第82-83页 |
| 致谢 | 第83页 |
