| 摘要 | 第2-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 Sigma-delta A/D 转换器的发展 | 第10-12页 |
| 1.2 Sigma-delta A/D 转换器的应用 | 第12-13页 |
| 1.3 静电悬浮转子微陀螺的研究概况 | 第13-18页 |
| 1.3.1 美国 | 第13-15页 |
| 1.3.2 日本 | 第15-18页 |
| 1.4 本论文目标 | 第18-20页 |
| 第二章 Sigma-Delta 调制器的基本原理 | 第20-29页 |
| 2.1 量化噪声 | 第21-28页 |
| 2.1.1 奈奎斯特率转换器 | 第21-22页 |
| 2.1.2 过采样转换器 | 第22-23页 |
| 2.1.3 噪声整形 | 第23-27页 |
| 2.1.4 离散时间与连续时间的对比 | 第27-28页 |
| 2.2 小结 | 第28-29页 |
| 第三章 静电悬浮转子微陀螺模型的建立 | 第29-43页 |
| 3.1 静电悬浮转子微陀螺的结构 | 第29-31页 |
| 3.2 结构参数说明 | 第31-32页 |
| 3.3 陀螺的动力学方程 | 第32页 |
| 3.4 轴向电极间隙求解 | 第32-34页 |
| 3.5 电极电容求解 | 第34-36页 |
| 3.6 静电作用力及静电力矩的求解 | 第36-37页 |
| 3.7 轴向静电力求解 | 第37页 |
| 3.8 静电力矩求解 | 第37-38页 |
| 3.9 悬浮转子的控制方法 | 第38-39页 |
| 3.10 仿真及结果分析 | 第39-41页 |
| 3.11 小结 | 第41-43页 |
| 第四章 数字式静电悬浮闭环检测控制系统研究 | 第43-58页 |
| 4.1 静电悬浮系统运动方程 | 第43-45页 |
| 4.2 数字闭环控制的概念 | 第45-46页 |
| 4.3 数字闭环信号检测的原理 | 第46-49页 |
| 4.4 数字悬浮控制的Pspice 实现方案 | 第49页 |
| 4.5 悬浮转子的模拟行为模型 | 第49-54页 |
| 4.5.1 载波产生模块Pspice 模型 | 第50-51页 |
| 4.5.2 转子的Pspice 模型 | 第51页 |
| 4.5.3 采样保持Pspice 模型 | 第51-53页 |
| 4.5.4 静电力加载逻辑控制 | 第53-54页 |
| 4.6 仿真及结果分析 | 第54-55页 |
| 4.7 测试结果 | 第55-56页 |
| 4.8 小结 | 第56-58页 |
| 第五章 低压宽带宽的调制器设计及噪声分析 | 第58-73页 |
| 5.1 传统Sigma-delta 调制器的不足 | 第58-59页 |
| 5.2 降低积分器输出摆幅调制器 | 第59-60页 |
| 5.3 一阶RISR sigma-delta 调制器 | 第60-61页 |
| 5.4 二阶RISR Sigma-delta 调换器 | 第61-62页 |
| 5.5 高阶RISR Sigma-delta 调制器 | 第62-64页 |
| 5.6 噪声分析 | 第64-70页 |
| 5.6.1 器件噪声 | 第65页 |
| 5.6.2 运放的输入端等效噪声 | 第65-66页 |
| 5.6.3 积分器噪声 | 第66-69页 |
| 5.6.4 调制器输出端噪声 | 第69-70页 |
| 5.7 二阶结构的设计 | 第70-71页 |
| 5.8 最优化设计 | 第71-72页 |
| 5.9 小结 | 第72-73页 |
| 第六章 二阶signa-delta 调制器的电路实现 | 第73-85页 |
| 6.1 开关电容调制器结构 | 第73-74页 |
| 6.2 时钟倍增电路 | 第74-76页 |
| 6.3 恒定Vgs 自举电路 | 第76-77页 |
| 6.4 运放及低压偏置电路 | 第77-80页 |
| 6.5 比较器 | 第80-84页 |
| 6.5.1 锁存器 | 第81-82页 |
| 6.5.2 预放大器 | 第82-84页 |
| 6.6 小结 | 第84-85页 |
| 第七章 总结和展望 | 第85-87页 |
| 7.1 主要工作与结论 | 第85-86页 |
| 7.2 展望 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-91页 |
| 致谢 | 第91-92页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第92-95页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第95-96页 |
