| 第一章 引言 | 第9-25页 |
| 1．1 研究背景 | 第9-17页 |
| 1．1．1 超深亚微米工艺（VDSM）及系统芯片技术（SOC） | 第9-12页 |
| 1．1．2 互连和封装技术 | 第12-16页 |
| 1．1．3 片内互连分类及设计考虑 | 第16-17页 |
| 1．2 ULSI片上互连寄生参数的影响 | 第17-18页 |
| 1．3 本文研究工作 | 第18-25页 |
| 1．3．1 研究对象和研究内容 | 第18-20页 |
| 1．3．2 参数提取研究方法 | 第20-23页 |
| 1．3．2．1 参数提取方法现状 | 第20-22页 |
| 1．3．2．2 文中采用的主要参数提取方法 | 第22-23页 |
| 1．3．3 本文主要研究内容 | 第23-25页 |
| 第二章 ULSI连线分析基本理论 | 第25-35页 |
| 2．1 Maxwell方程组 | 第25-26页 |
| 2．2 互连模型 | 第26-29页 |
| 2．2．1 器件和互连的按比例缩小 | 第26-27页 |
| 2．2．2 互连模型 | 第27页 |
| 2．2．3 互连线模型选择原则 | 第27-29页 |
| 2．3 器件模型 | 第29-32页 |
| 2．3．1 普通形式 | 第29-30页 |
| 2．3．2 查表形式 | 第30-31页 |
| 2．3．2．1 一维表 | 第30-31页 |
| 2．3．2．2 二维表 | 第31页 |
| 2．3．3 等效电容形式 | 第31-32页 |
| 2．4 互连分析中存在的几个主要问题 | 第32-35页 |
| 2．4．1 稀疏化与稳定性 | 第33-34页 |
| 2．4．2 模型降阶问题 | 第34-35页 |
| 第三章 ULSI互连线寄生电感参数提取 | 第35-54页 |
| 3．1 引言 | 第35-37页 |
| 3．2 电感提取问题 | 第37-40页 |
| 3．2．1 问题的描述 | 第37-38页 |
| 3．2．2 部分电感概念 | 第38-39页 |
| 3．2．3 研究现状 | 第39-40页 |
| 3．3 多导体系统限制回路电感提取解析方法 | 第40-44页 |
| 3．3．1 平行导体自感和互感解析计算公式 | 第40-42页 |
| 3．3．2 定界方法 | 第42-44页 |
| 3．4 基于BP网络的电感提取方法 | 第44-49页 |
| 3．4．1 基于牛顿法的BP网络 | 第44-45页 |
| 3．4．2 基于BP网络的电感提取 | 第45-47页 |
| 3．4．3 仿真算例 | 第47-49页 |
| 3．4．4 小结 | 第49页 |
| 3．5 多导体系统限制回路电感提取方法 | 第49-54页 |
| 3．5．1 信号线与地线布线特点 | 第49-50页 |
| 3．5．2 基于HARO规则的RLIE | 第50-51页 |
| 3．5．3 基于ANN的多导体系统RLIE | 第51-52页 |
| 3．5．4 实例 | 第52-53页 |
| 3．5．5 小结 | 第53-54页 |
| 第四章 ULSI互连线寄生电容参数提取 | 第54-67页 |
| 4．1 互连线寄生电容提取问题 | 第55-57页 |
| 4．1．1 问题的描述 | 第55-56页 |
| 4．1．2 静电场的计算 | 第56页 |
| 4．1．3 常用方法 | 第56-57页 |
| 4．2 互连线解析电容模型 | 第57-60页 |
| 4．2．1 单层金属共面导体的寄生电容参数 | 第57-58页 |
| 4．2．2 多级金属导体中寄生电容参数 | 第58-60页 |
| 4．3 互连线寄生电容参数的上下界推导 | 第60-62页 |
| 4．4 OPE对互连线模拟光刻的影响 | 第62-63页 |
| 4．5 基于ANN提取互连线寄生电容参数 | 第63-66页 |
| 4．5．1 互连线寄生电容提取修正因子法 | 第64-65页 |
| 4．5．2 计算实例 | 第65-66页 |
| 4．6 本章小结 | 第66-67页 |
| 第五章 ULSI互连线高频效应分析 | 第67-81页 |
| 5．1 互连线耦合效应时域分析 | 第69-72页 |
| 5．1．1 电容耦合效应 | 第69-70页 |
| 5．1．2 电感耦合效应 | 第70-72页 |
| 5．2 单根互连线延时和过冲分析 | 第72-76页 |
| 5．2．1 RC线分析 | 第72-74页 |
| 5．2．2 RLC线分析 | 第74-76页 |
| 5．3 高频互连线串扰分析 | 第76-80页 |
| 5．3．1 两条电容性耦合互连线串扰模型 | 第76-78页 |
| 5．3．2 多条电容性耦合互连线串扰模型 | 第78-80页 |
| 5．4 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 电源树同步切换噪声估计 | 第81-97页 |
| 6．1 ULSI电源／地网络设计特点 | 第81-83页 |
| 6．1．1 布图模式 | 第81-82页 |
| 6．1．2 ULSI电源／地网络设计特点 | 第82-83页 |
| 6．2 基于分布RLC模型估计电源树同步切换噪声 | 第83-92页 |
| 6．2．1 PST建模 | 第84-85页 |
| 6．2．2 基于事件驱动机制估计PST的SSN | 第85-86页 |
| 6．2．2．1 输入模式生成 | 第85页 |
| 6．2．2．2 切换事件的触发 | 第85-86页 |
| 6．2．3 PST噪声估计 | 第86-88页 |
| 6．2．3．1 节点重组与参数重编号 | 第86-87页 |
| 6．2．3．2 部分传递函数计算 | 第87-88页 |
| 6．2．4 仿真 | 第88-92页 |
| 6．3 基于π型分布RLC模型估计电源树同步切换噪声 | 第92-97页 |
| 6．3．1 PST建模 | 第92-93页 |
| 6．3．2 基于事件驱动机制估计PST的SSN | 第93-94页 |
| 6．3．3 仿真 | 第94-97页 |
| 第七章 总结与展望 | 第97-99页 |
| 参考文献 | 第99-104页 |
| 作者在学期间发表及录用的论文 | 第104-105页 |
| 致谢 | 第105页 |