| 第一章 结论 | 第1-9页 |
| 第二章 实验 | 第9-14页 |
| 2．1 实验原理 | 第9-10页 |
| 2．2 实验方法、装置及工艺参数 | 第10-12页 |
| 2．3 实验检测技术 | 第12-14页 |
| 第三章 实验结果和讨论 | 第14-25页 |
| 3．1 交流等离子体增强化学沉积氮化碳薄膜 | 第14-17页 |
| 3．2 直流辉光放电离子体增强化学沉积氮化碳薄膜 | 第17-25页 |
| 3．2．1 典型实验条件下制备的氮化碳薄膜的性质 | 第17-20页 |
| 3．2．2 基底温度对氮化碳薄膜特性的影响 | 第20-25页 |
| 第四章 铁作催化剂制备氮化碳 | 第25-32页 |
| 4．1 硝酸铁浸泡Si基底制备氮化碳 | 第25-27页 |
| 4．2 催化剂铁的粒度对氮化碳特性的影响 | 第27-30页 |
| 4．3 一维结构氮化碳制备 | 第30-32页 |
| 第五章 等离子体增强化学气相沉积氮化碳膜过程中的光谱研究 | 第32-40页 |
| 5．1 实验 | 第32-33页 |
| 5．2 结果和讨论 | 第33-40页 |
| 第六章 结束语 | 第40-42页 |
| 参考文献 | 第42-45页 |