摘要 | 第4-5页 |
Abstract | 第5-6页 |
1 引言 | 第10-15页 |
1.1 选题背景 | 第10页 |
1.2 文章选题依据、目的和意义 | 第10-12页 |
1.3 纳米压印技术研究现状 | 第12-13页 |
1.3.1 国外研究现状 | 第12-13页 |
1.3.2 国内研究现状 | 第13页 |
1.4 本文的基本内容和大致结构 | 第13-15页 |
2 纳米压印技术 | 第15-30页 |
2.1 纳米压印技术基本原理 | 第15-16页 |
2.2 传统纳米压印技术分类 | 第16-20页 |
2.2.1 热压印技术 | 第16-18页 |
2.2.2 紫外纳米压印技术 | 第18-19页 |
2.2.3 微接触压印 | 第19-20页 |
2.3 新型纳米压印技术 | 第20-23页 |
2.3.1 逆纳米压印 | 第20-21页 |
2.3.2 激光熔融纳米压印技术 | 第21-22页 |
2.3.3 金属薄膜直接压印 | 第22-23页 |
2.4 纳米压印的施压方式 | 第23-28页 |
2.4.1 滚轴施压技术 | 第23-24页 |
2.4.2 静电力辅助施压 | 第24-25页 |
2.4.3 气压辅助施压技术 | 第25-28页 |
2.4.3.1 气囊气缸式辅助施压 | 第25-26页 |
2.4.3.2 喷嘴充气施压(ACP) | 第26-27页 |
2.4.3.3 真空负压技术 | 第27-28页 |
2.4.3.4 压缩式施压技术 | 第28页 |
2.5 本章小结 | 第28-30页 |
3 压缩式气体施压纳米压印振动传递分析 | 第30-49页 |
3.1 气体压缩原理和系统结构 | 第30-32页 |
3.2 振源振动过程分析 | 第32-40页 |
3.2.1 宏观波纹度理论分析 | 第32-35页 |
3.2.2 粗糙度分析 | 第35-40页 |
3.3 振动传递形态分析 | 第40-45页 |
3.3.1 弹性力学基本方程 | 第40-41页 |
3.3.2 振动在支杆上的传递分析 | 第41-43页 |
3.3.3 振动在筒壁上的传递分析 | 第43-45页 |
3.4 振动在支撑台上的叠加 | 第45-48页 |
3.5 本章小结 | 第48-49页 |
4 压缩式气压纳米压印振动阻尼分析 | 第49-61页 |
4.1 振动原因及隔振原理分析 | 第49-52页 |
4.2 选取材料与结构设计 | 第52-53页 |
4.3 结构各参数对振幅衰减效果的影响 | 第53-59页 |
4.3.1 不同强柱直径与强柱间距对隔振效果的影响 | 第53-55页 |
4.3.2 不同强柱高度与弱梁厚度对隔振效果的影响 | 第55-57页 |
4.3.3 不同模型层数与相邻两层强柱错开的间距对隔振效果的影响 | 第57-59页 |
4.4 设计最优层数的强柱弱梁型减振结构 | 第59-60页 |
4.5 本章小结 | 第60-61页 |
5 压缩式气压纳米压印振动传输的实验研究 | 第61-70页 |
5.1 压缩式气压纳米压印机工作过程 | 第61-62页 |
5.2 振动传递的实验分析 | 第62-66页 |
5.2.1 筒壁振动传递的形态 | 第62-64页 |
5.2.2 支杆振动传递的形态 | 第64-66页 |
5.3 振动传递的影响因素 | 第66-69页 |
5.3.1 活塞滑动速度对振动传递的影响 | 第66-67页 |
5.3.2 活塞压缩量对振动传递的影响 | 第67-69页 |
5.4 本章小结 | 第69-70页 |
6 结论与展望 | 第70-73页 |
6.1 结论 | 第70-72页 |
6.2 遇到的问题及展望 | 第72-73页 |
参考文献 | 第73-76页 |
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第76-77页 |
致谢 | 第77页 |