近场超声非接触支撑与传输系统的理论与实验研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-32页 |
| ·课题来源 | 第14页 |
| ·课题背景 | 第14-15页 |
| ·非接触支撑与传输技术概述 | 第15-20页 |
| ·各种非接触支撑技术的比较研究及发展现状 | 第15-19页 |
| ·超声波及其悬浮技术 | 第19-20页 |
| ·压电陶瓷及换能器 | 第20页 |
| ·近场超声支撑与传输技术国内外研究现状 | 第20-26页 |
| ·近场超声悬浮技术 | 第20-22页 |
| ·挤压气体薄膜的建模与仿真 | 第22-24页 |
| ·非接触晶圆输送系统 | 第24-26页 |
| ·课题研究的意义与特点 | 第26-27页 |
| ·本文主要研究内容与结构 | 第27-32页 |
| 第二章 近场超声悬浮的挤压膜理论建模 | 第32-54页 |
| ·挤压气膜模型及粘性流体运动微分方程 | 第32-35页 |
| ·挤压效应 | 第32-33页 |
| ·气体挤压膜模型 | 第33-34页 |
| ·粘性流体运动微分方程（N-S 方程） | 第34-35页 |
| ·N-S 方程推导低阶挤压膜方程 | 第35-40页 |
| ·Piston-like 假设下的挤压膜方程 | 第35-38页 |
| ·一阶近似解析求解 | 第38-39页 |
| ·二阶近似解析求解 | 第39-40页 |
| ·考虑弯曲边界的对流扩散方程 | 第40-46页 |
| ·考虑弯曲边界的挤压膜方程 | 第41-42页 |
| ·高分辨率中心差分格式 | 第42-44页 |
| ·求解结果分析 | 第44-46页 |
| ·考虑气体惯性的挤压膜方程 | 第46-49页 |
| ·气体惯性在气液体薄膜中的影响 | 第46-47页 |
| ·含惯性力模型推导及解析求解 | 第47-48页 |
| ·求解结果分析 | 第48-49页 |
| ·气体的边界效应 | 第49-53页 |
| ·边界效应的产生及影响 | 第49-50页 |
| ·气体边界效应的建模 | 第50-52页 |
| ·边界效应求解结果分析 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第三章 行波传输理论建模及稳定性分析 | 第54-70页 |
| ·行波传输机理概述 | 第54-55页 |
| ·行波挤压气膜本构方程 | 第55-56页 |
| ·导轨中行波的形成与传输 | 第56-58页 |
| ·有限长平板的自由振动及求解 | 第57页 |
| ·行波形成的气膜动态边界 | 第57-58页 |
| ·固—气—固耦合动力学分析 | 第58-61页 |
| ·传输系统动力学建模 | 第58-60页 |
| ·量纲分析与无量纲化 | 第60-61页 |
| ·数值差分求解 | 第61页 |
| ·NFAL悬浮稳定性分析 | 第61-68页 |
| ·回复力和回复力矩的计算 | 第63-64页 |
| ·影响稳定性能的振子参数 | 第64-65页 |
| ·不同截面的振子的稳定性分析 | 第65-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第四章 支撑与悬浮系统驱动部件的设计与优化 | 第70-90页 |
| ·压电陶瓷及压电换能器 | 第70-74页 |
| ·压电陶瓷材料参数及其本构方程 | 第71-72页 |
| ·压电换能器及在声悬浮中的应用 | 第72-73页 |
| ·超声变幅杆理论设计 | 第73-74页 |
| ·换能器耦合场动力学分析 | 第74-76页 |
| ·振子多场耦合的特性 | 第74-76页 |
| ·系统耦合动力学模型 | 第76页 |
| ·有限元分析 | 第76-83页 |
| ·几何模型构建及材料参数 | 第77-79页 |
| ·模态分析 | 第79-81页 |
| ·谐响应分析 | 第81-83页 |
| ·尺寸优化结果分析 | 第83-85页 |
| ·声辐射盘对谐响应频率的影响 | 第83-84页 |
| ·固支位置对振幅的影响 | 第84-85页 |
| ·电学模型分析及阻抗匹配 | 第85-89页 |
| ·机电等效电路分析 | 第85-87页 |
| ·电参数测试与分析 | 第87-88页 |
| ·匹配电路的定量计算 | 第88-89页 |
| ·误差分析 | 第89页 |
| ·本章小结 | 第89-90页 |
| 第五章 近场超声悬浮系统实验研究 | 第90-106页 |
| ·系统实验搭建及测试方案 | 第90-93页 |
| ·实验系统设计及测试流程 | 第90-92页 |
| ·实验测试方案设计 | 第92-93页 |
| ·近场超声悬浮实验测试 | 第93-104页 |
| ·扫频测试和振型扫描 | 第93-96页 |
| ·挤压气膜的气压分布分析 | 第96-97页 |
| ·悬浮力各种理论模型与实验值的比较 | 第97-101页 |
| ·耦合系统的动力学响应实验分析 | 第101-104页 |
| ·实验结果及误差分析 | 第104-105页 |
| ·本章小结 | 第105-106页 |
| 第六章 非接触式行波传输系统设计及实验分析 | 第106-120页 |
| ·行波传输实验体系原理及选型 | 第106-108页 |
| ·实验台设计 | 第108-113页 |
| ·振子结构设计与阻抗测试分析 | 第108-109页 |
| ·传输导轨的尺寸设计 | 第109-111页 |
| ·阻抗匹配电路设计 | 第111-112页 |
| ·测试方案和数据处理 | 第112-113页 |
| ·实验结果及误差分析 | 第113-118页 |
| ·阻抗匹配电路与行波生成关系的测试 | 第113-115页 |
| ·悬浮高度与激励的关系的分析 | 第115-116页 |
| ·传输性能与激励的关系的分析 | 第116-118页 |
| ·本章小结 | 第118-120页 |
| 第七章 总结与展望 | 第120-124页 |
| ·工作总结 | 第120-122页 |
| ·论文创新点 | 第122-123页 |
| ·展望 | 第123-124页 |
| 参考文献 | 第124-134页 |
| 攻读博士学位期间的科研成果 | 第134-136页 |
| 致谢 | 第136-137页 |
