| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-23页 |
| ·概述 | 第8-12页 |
| ·Bi 系层状钙钛矿铁电薄膜的研究现状 | 第12-15页 |
| ·Bi 系层状氧化物铁电薄膜的制备方法简介 | 第15-20页 |
| ·Bi 系层状氧化物铁电薄膜的研究现状 | 第20-21页 |
| ·本文研究目的及意义和实验方案 | 第21-23页 |
| 第二章 实验方法及原理 | 第23-32页 |
| ·BTO 和SBTO 薄膜的制备方法 | 第23-26页 |
| ·薄膜结构与电性能的表征方法 | 第26-32页 |
| 第三章 BTO 和SBTO 靶材的制备 | 第32-37页 |
| ·制备过程 | 第32-34页 |
| ·靶材的分析 | 第34-37页 |
| 第四章 BTO 和SBTO 薄膜的制备及其结构和性能 | 第37-42页 |
| ·衬底温度对BTO 薄膜结构和性能的影响 | 第37-39页 |
| ·氧气氛压力对BTO 薄膜结构和性能的影响 | 第39-41页 |
| ·SBTO 薄膜的制备 | 第41-42页 |
| 第五章 BTO 薄膜性能改善和SBTO 薄膜的研究 | 第42-55页 |
| ·导电氧化物做复合电极对BTO 薄膜取向和性能的影响 | 第42-50页 |
| ·SBTO 薄膜性能的研究 | 第50-51页 |
| ·氧化物电极对SBTO 薄膜性能影响的研究 | 第51-54页 |
| ·结论 | 第54-55页 |
| 第六章 结论 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 在读期间发表的论文 | 第61-62页 |
