高精度激光直写中光束控制的研究
| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第11-19页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第11-12页 |
| 1.2 激光直写技术简介 | 第12-13页 |
| 1.3 光束对激光直写质量的影响 | 第13-14页 |
| 1.3.1 高斯光束光刻 | 第13页 |
| 1.3.2 平顶光束光刻 | 第13-14页 |
| 1.4 国内外光束整形技术发展现状 | 第14-17页 |
| 1.5 本文的主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第2章 激光直写光束整形理论基础 | 第19-38页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 光衍射的基础理论 | 第19-22页 |
| 2.2.1 惠更斯-菲涅耳原理 | 第19-20页 |
| 2.2.2 菲涅耳衍射和夫琅禾费衍射 | 第20-21页 |
| 2.2.3 Chirp-Z变换 | 第21-22页 |
| 2.3 光束整形的优化算法 | 第22-31页 |
| 2.3.1 Gerchberg-Saxton算法 | 第22-24页 |
| 2.3.2 模拟退火算法 | 第24-27页 |
| 2.3.3 改进的迭代傅里叶变换算法 | 第27-29页 |
| 2.3.4 改进的退火-迭代傅里叶变换算法 | 第29-31页 |
| 2.4 算法的仿真分析 | 第31-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第3章 平顶光束激光直写实验系统 | 第38-48页 |
| 3.1 引言 | 第38页 |
| 3.2 光束整形直写验证实验光路设计 | 第38-39页 |
| 3.3 液晶空间光调制器 | 第39-41页 |
| 3.3.1 液晶相位调制原理 | 第40-41页 |
| 3.4 基于SAFI算法的平顶光束 | 第41-47页 |
| 3.4.1 平顶光束目标函数 | 第41-43页 |
| 3.4.2 SAFI算法调制入射光束 | 第43-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 液晶空间光调制器调制性能的测定 | 第48-55页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 相位测量的基本原理 | 第48-50页 |
| 4.3 衍射谱最小能量法 | 第50-51页 |
| 4.4 相位-灰度特性曲线标定实验 | 第51-54页 |
| 4.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 光束整形激光直写验证装置及测试实验 | 第55-68页 |
| 5.1 引言 | 第55页 |
| 5.2 直写线条质量的影响因素研究 | 第55-59页 |
| 5.2.1 光刻胶膜层厚度对曝光的影响 | 第55-57页 |
| 5.2.2 涂布实验确定工艺参数 | 第57-59页 |
| 5.3 平顶光束调制效果验证实验 | 第59-62页 |
| 5.4 高斯光束整形激光直写验证装置光刻实验 | 第62-67页 |
| 5.4.1 高斯光束整形激光直写实验调试 | 第62-64页 |
| 5.4.2 实验结果分析 | 第64-67页 |
| 5.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 结论 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 读硕士学位期间发表的论文及其它成果 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76页 |
